| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-28页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 气体传感器 | 第8-11页 |
| 1.2.1 定义 | 第8页 |
| 1.2.2 分类 | 第8-11页 |
| 1.3 半导体氧化物气体传感器 | 第11-25页 |
| 1.3.1 简介 | 第11-12页 |
| 1.3.2 气敏机理模型 | 第12-13页 |
| 1.3.3 主要性能参数 | 第13-14页 |
| 1.3.4 影响传感器性能的主要因素 | 第14-16页 |
| 1.3.5 几种典型半导体氧化物气体传感器 | 第16-25页 |
| 1.4 微波加热法概述 | 第25-26页 |
| 1.5 选题依据与研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5.1 选题依据 | 第26-27页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第27-28页 |
| 2 In_2O_3纳米棒的制备及其气敏特性 | 第28-40页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 实验方法 | 第28-31页 |
| 2.2.1 实验试剂和仪器 | 第28页 |
| 2.2.2 样品的制备 | 第28-29页 |
| 2.2.3 样品的表征 | 第29页 |
| 2.2.4 气敏元件的制备及测试 | 第29-31页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第31-36页 |
| 2.3.1 In_2O_3纳米棒的XRD表征 | 第31-32页 |
| 2.3.2 In_2O_3纳米棒的SEM表征 | 第32-33页 |
| 2.3.3 In_2O_3纳米棒的TEM表征 | 第33-34页 |
| 2.3.4 尿素对产物形貌的影响 | 第34页 |
| 2.3.5 In_2O_3纳米棒的生长机理 | 第34-36页 |
| 2.4 气敏特性研究 | 第36-39页 |
| 2.4.1 气敏性能 | 第36-38页 |
| 2.4.2 气敏机理 | 第38-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 3 SnO_2和Au/SnO_2纳米棒的制备及其气敏特性 | 第40-49页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 实验方法 | 第40-41页 |
| 3.2.1 实验试剂和仪器 | 第40页 |
| 3.2.2 样品的制备 | 第40-41页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第41-44页 |
| 3.3.1 SnO_2和Au/SnO_2纳米棒的XRD表征 | 第41-42页 |
| 3.3.2 SnO_2和Au/SnO_2纳米棒的形貌、结构和成分分析 | 第42-43页 |
| 3.3.3 SnO_2和Au/SnO_2纳米棒的TEM表征 | 第43页 |
| 3.3.4 SnO_2纳米棒的生长机理 | 第43-44页 |
| 3.4 气敏特性研究 | 第44-47页 |
| 3.4.1 气敏性能 | 第44-47页 |
| 3.4.2 气敏机理 | 第47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 4 ZnO和Au/ZnO中空微球的制备及其气敏特性 | 第49-58页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 实验方法 | 第49-50页 |
| 4.2.1 实验试剂和仪器 | 第49页 |
| 4.2.2 样品的制备 | 第49-50页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第50-54页 |
| 4.3.1 ZnO和Au/ZnO中空微球的XRD表征 | 第50-51页 |
| 4.3.2 ZnO和Au/ZnO中空微球的形貌、结构和成分分析 | 第51-53页 |
| 4.3.3 ZnO和Au/ZnO中空微球的TEM表征 | 第53-54页 |
| 4.4 气敏特性研究 | 第54-57页 |
| 4.4.1 气敏性能 | 第54-56页 |
| 4.4.2 气敏机理 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 论文总结 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 问题与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表和待发表论文和专利 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
