| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 缩略词 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 固结磨料研磨抛光技术 | 第15-19页 |
| 1.2.1 固结磨料研磨抛光技术简介 | 第15-17页 |
| 1.2.2 固结磨料研磨抛光研究现状 | 第17页 |
| 1.2.3 亲水性固结磨料研磨抛光垫的提出 | 第17-19页 |
| 1.3 亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整研究 | 第19-21页 |
| 1.3.1 传统抛光垫表征技术 | 第19-20页 |
| 1.3.2 固结磨料抛光垫的表征 | 第20-21页 |
| 1.4 研磨抛光垫与工件的接触模型研究 | 第21-22页 |
| 1.5 课题提出的背景及研究意义 | 第22页 |
| 1.6 本文主要研究内容与方法 | 第22-24页 |
| 第二章 研磨垫与工件接触分析 | 第24-30页 |
| 2.1 研磨垫表面微凸起分布 | 第24-26页 |
| 2.2 研磨垫与工件接触受力分析 | 第26-27页 |
| 2.2.1 树脂基体受力分析 | 第26页 |
| 2.2.2 金刚石颗粒受力分析 | 第26-27页 |
| 2.3 载荷在研磨垫表面的分布情况 | 第27-28页 |
| 2.4 单颗磨粒研磨过程 | 第28-29页 |
| 2.4.1 单颗磨粒的受力分析 | 第28页 |
| 2.4.2 单颗磨粒脱落过程 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 研磨垫特性对固结磨料研磨性能的影响 | 第30-42页 |
| 3.1 研磨垫特性及其表征 | 第30-32页 |
| 3.1.1 溶胀特性 | 第30页 |
| 3.1.2 摆式硬度 | 第30-31页 |
| 3.1.3 砂浆磨损特性 | 第31-32页 |
| 3.2 研磨垫特性的实验设计 | 第32-33页 |
| 3.3 研磨实验设计 | 第33-35页 |
| 3.3.1 研磨实验参数设计 | 第33-34页 |
| 3.3.2 研磨指标及其测量方法 | 第34-35页 |
| 3.4 研磨垫特性结果与分析 | 第35页 |
| 3.5 研磨垫特性对研磨性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.5.1 基体特性对材料去除速率的影响 | 第35-36页 |
| 3.5.2 基体特性对工件表面粗糙度的影响 | 第36-37页 |
| 3.5.3 基体特性对研磨垫自修整的影响 | 第37-39页 |
| 3.6 添加物对研磨性能的影响 | 第39-41页 |
| 3.6.1 添加物对材料去除速率的影响 | 第39页 |
| 3.6.2 添加物对工件表面粗糙度的影响 | 第39-40页 |
| 3.6.3 添加物对材料去除速率保持率的影响 | 第40-41页 |
| 3.7 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 工艺参数及工件材料特性对固结磨料研磨垫自修整过程的影响 | 第42-52页 |
| 4.1 正交实验设计 | 第42-44页 |
| 4.1.1 工件材料的选择 | 第42页 |
| 4.1.2 工艺参数的选择 | 第42-43页 |
| 4.1.3 研磨实验设计 | 第43-44页 |
| 4.1.4 研磨评价指标及测量方法 | 第44页 |
| 4.2 因素对研磨过程的影响 | 第44-50页 |
| 4.2.1 正交实验结果 | 第44-45页 |
| 4.2.2 各因素对材料去除率的影响 | 第45-48页 |
| 4.2.3 各因素对研磨垫自修整的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 工件材料对研磨过程的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.1 不同材料的去除机理 | 第50页 |
| 4.3.2 材料特性对研磨垫自修整的影响 | 第50-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 固结磨料研磨垫自修整机理 | 第52-62页 |
| 5.1 实验设计 | 第52-53页 |
| 5.1.1 工件和研磨垫准备 | 第52页 |
| 5.1.2 研磨试验与测试 | 第52页 |
| 5.1.3 砂浆磨损实验与性能评价 | 第52-53页 |
| 5.2 实验结果 | 第53-55页 |
| 5.2.1 不同压力研磨实验结果 | 第53-55页 |
| 5.2.2 不同砂浆粒径及孔隙下的砂浆磨损 | 第55页 |
| 5.3 研磨压力对自修整过程的影响 | 第55-59页 |
| 5.3.1. 压力对去除速率的影响 | 第55-56页 |
| 5.3.2 磨屑对自修整过程的影响 | 第56-57页 |
| 5.3.3 研磨垫研磨过程中的磨粒脱落 | 第57-58页 |
| 5.3.4 研磨压力对亚表面磨粒出露的影响 | 第58-59页 |
| 5.4 成孔剂对自修整过程的影响 | 第59-60页 |
| 5.4.1 成孔剂对去除速率的影响 | 第59页 |
| 5.4.2 成孔剂对自修整稳定性的影响 | 第59-60页 |
| 5.5 研磨垫自修整过程模型 | 第60-61页 |
| 5.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 总结 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第70页 |