| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第9-11页 |
| 1.3 本论文研究的主要内容 | 第11-13页 |
| 2 生物敏场效应管理论基础 | 第13-20页 |
| 2.1 生物敏场效应晶体管的基本工作原理 | 第13-15页 |
| 2.2 生物敏场效应晶体管的分类 | 第15-17页 |
| 2.3 生物敏场效应管器件特性 | 第17-19页 |
| 2.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 3 神经信号读取场效应管界面结构设计 | 第20-29页 |
| 3.1 神经信号读取场效应管整体器件结构设计 | 第20-22页 |
| 3.2 神经信号读取场效应管的“微井”界面结构设计 | 第22-24页 |
| 3.3 软刻技术构建图案化神经元网络 | 第24-27页 |
| 3.4 本章小结 | 第27-29页 |
| 4 神经信号读取场效应管的TCAD模拟仿真 | 第29-47页 |
| 4.1 SENTAURUS TCAD软件介绍 | 第29-31页 |
| 4.2 半导体器件模拟的基本方程 | 第31-33页 |
| 4.3 工艺流程及仿真 | 第33-46页 |
| 4.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 结论与展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |