| 致谢 | 第1-6页 |
| 中文摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 序 | 第9-12页 |
| 1 引言 | 第12-14页 |
| 2 能源危机的救世主----光伏发电 | 第14-18页 |
| ·世界太阳能光伏发电现状与展望 | 第14-16页 |
| ·我国太阳能光伏发电现状与展望 | 第16-18页 |
| ·生产大国,消费小国 | 第16页 |
| ·发展空间巨大 | 第16-17页 |
| ·两头在外的市场格局 | 第17-18页 |
| 3 晶体硅太阳能电池技术 | 第18-34页 |
| ·晶体硅太阳能电池基本原理 | 第18-19页 |
| ·高效电池片概述 | 第19-27页 |
| ·HIT电池 | 第19-20页 |
| ·埋栅电池 | 第20-21页 |
| ·背接触太阳能电池 | 第21-22页 |
| ·PERC电池 | 第22-24页 |
| ·OECO太阳电池 | 第24-26页 |
| ·选择性扩散电池 | 第26-27页 |
| ·晶体硅太阳能电池生产线工艺概述 | 第27-34页 |
| ·硅片腐蚀 | 第28-29页 |
| ·扩散 | 第29-30页 |
| ·等离子刻蚀 | 第30-31页 |
| ·去磷硅玻璃 | 第31页 |
| ·PECVD镀膜 | 第31-33页 |
| ·丝网印刷 | 第33-34页 |
| 4 叠层钝化及一种高效电池片的研究 | 第34-82页 |
| ·SiO_2和SiN_x双层膜叠层钝化研究 | 第34-46页 |
| ·SiO_2性质研究 | 第34页 |
| ·SiN_x性质研究 | 第34-35页 |
| ·SiO_2和SiN_x双层膜性质研究 | 第35-36页 |
| ·SiO_2和SiN_x双层膜实验研究 | 第36-46页 |
| ·干法腐蚀高效电池片研究 | 第46-82页 |
| ·干法腐蚀高效电池扩散工艺研究 | 第46-55页 |
| ·干法制绒太阳能电池PECVD工艺研究 | 第55-82页 |
| 5 太阳能电池相关实验分析 | 第82-94页 |
| ·晶体硅太阳能电池扩散工艺研究 | 第82-87页 |
| ·中心温度对方阻值,均匀性及少子寿命的影响 | 第82-83页 |
| ·O_2流量对方阻值,均匀性,少子寿命的影响 | 第83-84页 |
| ·小氮流量对对方阻值,均匀性及少子寿命的影响 | 第84-85页 |
| ·大氮流量对对方阻值,均匀性及少子寿命的影响 | 第85-86页 |
| ·通源时间,再分布时间变化对方阻值及少子寿命的影响 | 第86-87页 |
| ·结论 | 第87页 |
| ·少子寿命在晶体硅太阳能中的变化研究 | 第87-94页 |
| ·少子寿命在单晶硅太阳能电池的变化及相应变化的原因 | 第88-90页 |
| ·碘钝化处理后的生产过程中少子寿命变化 | 第90-91页 |
| ·单面扩散和双面扩散少子寿命的差异 | 第91页 |
| ·铝吸杂对少子寿命的影响 | 第91-92页 |
| ·结论 | 第92-94页 |
| 6 结论 | 第94-96页 |
| 参考文献 | 第96-98页 |
| 作者简历 | 第98-102页 |
| 学位论文数据集 | 第102页 |