面向大尺寸非平整衬底图形化的复合纳米压印研究
| 摘要 | 第8-10页 |
| Abstract | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.2 研究背景、目的和意义 | 第12-15页 |
| 1.3 纳米压印国内外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 整片晶圆纳米压印 | 第15-16页 |
| 1.3.2 滚对平面纳米压印 | 第16-17页 |
| 1.3.3 滚对滚纳米压印 | 第17-18页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 复合纳米压印基本原理及工艺流程 | 第19页 |
| 1.4.2 复合纳米压印软模具变形机理和规律 | 第19页 |
| 1.4.3 复合纳米压印软模具制备工艺研究 | 第19-20页 |
| 1.4.4 复合纳米压印实验研究 | 第20-21页 |
| 第2章 复合纳米压印基本原理及工艺流程 | 第21-31页 |
| 2.1 复合纳米压印基本原理 | 第21-23页 |
| 2.2 复合纳米压印工艺流程 | 第23-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 复合纳米压印软模具变形机理和规律 | 第31-42页 |
| 3.1. 理论模型 | 第31-35页 |
| 3.1.1 复合软模具整体弯曲变形 | 第31-32页 |
| 3.1.2 复合软模具局部变形 | 第32-35页 |
| 3.2 数值模拟 | 第35-41页 |
| 3.2.1 复合软模具变形宏观模拟 | 第35-37页 |
| 3.2.2 复合软模具整体弯曲变形 | 第37-39页 |
| 3.2.3 复合软模具局部变形 | 第39-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 复合纳米压印软模具制备工艺研究 | 第42-54页 |
| 4.1 理论建模 | 第42-48页 |
| 4.1.1 复合软模具脱模 | 第43-46页 |
| 4.1.2 气泡缺陷 | 第46-48页 |
| 4.2.数值模拟 | 第48-52页 |
| 4.2.1 脱模过程宏观模拟 | 第48-50页 |
| 4.2.2 脱模过程微观模拟（模具型腔深宽比） | 第50-52页 |
| 4.3 复合软模具制造工艺流程 | 第52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第5章 复合纳米压印实验研究 | 第54-66页 |
| 5.1 实验平台搭建 | 第54-57页 |
| 5.1.1 实验装置 | 第54-56页 |
| 5.1.2 工艺参数 | 第56-57页 |
| 5.2 复合软模具变形（支撑层厚度的选取） | 第57-58页 |
| 5.3 双层复合软模具的制备 | 第58-60页 |
| 5.3.1 实验材料 | 第58-59页 |
| 5.3.2 复合软模具复制 | 第59-60页 |
| 5.4 压印结果和讨论 | 第60-64页 |
| 5.4.1 压印材料 | 第60-61页 |
| 5.4.2 4 英寸微尺度光栅结构压印 | 第61-62页 |
| 5.4.3 4 英寸亚微尺度柱状结构压印 | 第62-63页 |
| 5.4.4 6 英寸微尺度柱状结构压印 | 第63-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第6章 结论与展望 | 第66-69页 |
| 6.1 结论 | 第66-68页 |
| 6.2 未来展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
