| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题来源、研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第7页 |
| 1.1.2 课题的研究背景及意义 | 第7-9页 |
| 1.2 石英玻璃的分子动力学仿真技术研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 石英玻璃加工性能国内外的研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.2 分子动力学仿真技术中存在的问题 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第14-15页 |
| 2 分子动力学方法的基本原理 | 第15-23页 |
| 2.1 引言 | 第15-16页 |
| 2.2 分子动力学仿真各参数的选取 | 第16-20页 |
| 2.2.1 系综的选择 | 第16页 |
| 2.2.2 势能函数的选取 | 第16-18页 |
| 2.2.3 基本运动仿真求解 | 第18-19页 |
| 2.2.4 边界条件 | 第19-20页 |
| 2.2.5 时间步长 | 第20页 |
| 2.3 分子动力学仿真软件与设备 | 第20-22页 |
| 2.3.1 分子动力学仿真软件 | 第20-21页 |
| 2.3.2 基于CPU并行技术的高性能仿真 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 不同深径比下的石英玻璃划痕研究 | 第23-36页 |
| 3.1 引言 | 第23页 |
| 3.2 仿真模型的建立 | 第23-24页 |
| 3.2.1 石英玻璃模型的建立 | 第23-24页 |
| 3.2.2 石英玻璃势能函数的选取 | 第24页 |
| 3.3 划痕过程中原子的运动轨迹分析 | 第24-28页 |
| 3.3.1 原子运动轨迹分析 | 第25-27页 |
| 3.3.2 弹性回复以及致密化分析 | 第27-28页 |
| 3.4 单一刀具半径下的深径比对石英玻璃加工的影响 | 第28-32页 |
| 3.4.1 不同深径比下的磨削表面形貌 | 第28-29页 |
| 3.4.2 不同深径比对弹性回复影响 | 第29-30页 |
| 3.4.3 不同深径比对温度的影响 | 第30-31页 |
| 3.4.4 不同深径比对磨削力的影响 | 第31-32页 |
| 3.5 不同刀具半径下的深径比对切屑的影响 | 第32-34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 多次磨削条件下的石英玻璃表面损伤研究 | 第36-47页 |
| 4.1 多次磨削的研究目标和方法 | 第36页 |
| 4.2 多次无进给磨削下石英玻璃表面损伤研究 | 第36-41页 |
| 4.2.1 无进给磨削模型建立与仿真参数设置 | 第36页 |
| 4.2.2 无进给条件下的表面形貌分析 | 第36-37页 |
| 4.2.3 压痕模型的建立 | 第37-39页 |
| 4.2.4 无进给条件下的损伤表面密度与硬度分析 | 第39-40页 |
| 4.2.5 无进给条件下的温度与磨削力分析 | 第40-41页 |
| 4.3 多次进给磨削下石英玻璃表面损伤研究 | 第41-45页 |
| 4.3.1 进给磨削模型建立与仿真参数设置 | 第41-42页 |
| 4.3.2 进给条件下的表面形貌分析 | 第42-43页 |
| 4.3.3 进给条件下的损伤表面密度与硬度分析 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 5 石英玻璃纳米压划痕实验研究 | 第47-57页 |
| 5.1 纳米压划痕测试原理 | 第47页 |
| 5.2 石英玻璃实验设备与样品制备 | 第47-50页 |
| 5.3 石英玻璃实验结果分析 | 第50-56页 |
| 5.3.1 不同划痕深度对正向力的影响 | 第50-53页 |
| 5.3.2 不同划痕深度对摩擦系数的影响 | 第53-54页 |
| 5.3.3 同一位置多次划痕结果分析 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |