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基于MEMS技术太赫兹波段超材料器件的研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-20页
    1.1 课题背景及研究目的和意义第10页
    1.2 THz 波段超材料的研究现状及应用第10-18页
        1.2.1 THz 的研究现状及应用第10-11页
        1.2.2 超材料的研究现状及应用第11-13页
        1.2.3 THz 超材料滤波器的研究现状第13-14页
        1.2.4 THz 超材料生物传感器的研究现状第14-17页
        1.2.5 THz 波段 EIT 超材料的研究现状第17-18页
    1.3 本文的主要研究内容与架构第18-20页
第2章 THz 波段单一芯片实现带通和低通滤波效应第20-31页
    2.1 引言第20页
    2.2 滤波器的设计与分析第20-23页
        2.2.1 THz 滤波器的设计第20-21页
        2.2.2 THz 滤波器的数值分析第21-23页
    2.3 滤波器制备工艺与测试第23-30页
        2.3.1 高阻硅基底滤波器的制备工艺第23-24页
        2.3.2 PET 基底滤波器的制备工艺第24-27页
        2.3.3 滤波器性能测试与分析第27-30页
    2.4 本章小结第30-31页
第3章 THz 波段超材料生物传感器的研究第31-44页
    3.1 引言第31-32页
    3.2 超材料传感器的设计第32-34页
    3.3 超材料传感器芯片的制备工艺第34-38页
        3.3.1 高阻硅基底传感器的制备工艺第34-36页
        3.3.2 PDMS 模具的制备工艺第36-38页
    3.4 超材料传感器芯片的生物修饰第38-40页
    3.5 生物修饰芯片的 THz 透射测试与分析第40-43页
    3.6 本章小结第43-44页
第4章 THz 波段动态调谐电磁诱导透明超材料第44-51页
    4.1 引言第44页
    4.2 可重构电磁诱导透明超材料的设计与分析第44-47页
        4.2.1 可重构 EIT 超材料器件的设计第44-45页
        4.2.2 EIT 超材料结构的数值分析第45-47页
    4.3 EIT 超材料参数变化的数值分析第47-49页
    4.4 EIT 超材料相位和群延迟的特性第49-50页
    4.5 本章小结第50-51页
结论第51-52页
参考文献第52-56页
攻读学位期间发表的学术论文第56-57页
致谢第57页

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