| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-28页 |
| 1.1 微机电系统发展概况 | 第9-12页 |
| 1.2 微机电系统测试技术国内外研究现状 | 第12-22页 |
| 1.3 微机电系统平面动态特性测试技术国内外研究现状 | 第22-25页 |
| 1.4 选题背景与论文的主要工作 | 第25-28页 |
| 第二章 基于机器微视觉的 MEMS 动态测试系统 | 第28-47页 |
| 2.1 机器微视觉概述 | 第28-29页 |
| 2.2 基于机器微视觉的MEMS动态测试系统 | 第29-31页 |
| 2.3 MEMS动态测试系统的硬件平台 | 第31-40页 |
| 2.4 MEMS动态测试系统的软件平台 | 第40-45页 |
| 2.5 小结 | 第45-47页 |
| 第三章 基于模糊图像合成技术的 MEMS 二维运动估计 | 第47-66页 |
| 3.1 模糊图像合成技术的测量原理 | 第47-48页 |
| 3.2 基于模糊图像合成技术的MEMS器件运动轨迹的特征提取 | 第48-62页 |
| 3.3 MEMS梳齿谐振器动态特性参数的测量结果及分析 | 第62-65页 |
| 3.4 小结 | 第65-66页 |
| 第四章 基于块匹配与相位相关技术的 MEMS 二维运动估计 | 第66-98页 |
| 4.1 频闪动态成像技术的测量原理 | 第66-67页 |
| 4.2 基于块匹配的二维运动估计 | 第67-80页 |
| 4.3 基于相位相关的二维运动估计 | 第80-88页 |
| 4.4 基于块匹配与相位相关的亚像素精度的MEMS二维运动估计 | 第88-91页 |
| 4.5 实验结果分析与讨论 | 第91-97页 |
| 4.6 小结 | 第97-98页 |
| 第五章 基于光流技术的 MEMS 二维运动估计 | 第98-119页 |
| 5.1 二维运动矢量场与光流场 | 第98-101页 |
| 5.2 光流场估值中的问题讨论 | 第101-103页 |
| 5.3 基于光流场的MEMS二维运动估计 | 第103-110页 |
| 5.4 实验结果分析与讨论 | 第110-117页 |
| 5.5 基于频闪成像原理的两种MEMS二维运动估计算法的比较与分析 | 第117-118页 |
| 5.6 小结 | 第118-119页 |
| 第六章 微器件力学特性的测量 | 第119-127页 |
| 6.1 微机械机械力学特性测量的意义 | 第119-120页 |
| 6.2 微机械杨氏模量与残余应力的测量方法 | 第120-122页 |
| 6.3 基于谐振频率法的微梁力学特性的测量 | 第122-126页 |
| 6.4 小结 | 第126-127页 |
| 第七章 全文总结与展望 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-137页 |
| 攻读博士学位论文期间发表论文和参加项目 | 第137-139页 |
| 致谢 | 第139页 |
