| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 微位移驱动器的现状 | 第11-13页 |
| 1.3 压电微位移系统中存在的问题 | 第13-15页 |
| 1.4 压电微位移系统国内外的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.5 论文研究的主要内容及安排 | 第18-19页 |
| 1.6 本章小结 | 第19-21页 |
| 第二章 压电微位移执行器常见模型与控制 | 第21-35页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 压电微位移执行器常见模型 | 第21-29页 |
| 2.3 压电微位移系统控制算法 | 第29-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 压电超精密执行器的参数辨识与逆补偿 | 第35-49页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 压电超精密执行器DUHEM模型中函数的确立 | 第35-40页 |
| 3.3 压电超精密执行器DUHEM模型的逆补偿 | 第40-41页 |
| 3.4 实验验证 | 第41-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 压电超精密定位系统的建模与控制 | 第49-63页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 压电超精密定位系统结构及模型 | 第49-51页 |
| 4.3 跟踪-微分法压电超精密定位系统模型辨识 | 第51-56页 |
| 4.4 实验验证 | 第56-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 扩展输入空间法超精密定位系统神经网络建模 | 第63-81页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 扩展输入空间法迟滞算子的构造原则及方法 | 第63-66页 |
| 5.3 基于遗传算法的迟滞算子参数自寻优 | 第66-68页 |
| 5.4 基于扩展空间法超精密定位系统神经网络建模 | 第68-80页 |
| 5.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 多维超精密定位系统的解耦控制与实现 | 第81-111页 |
| 6.1 引言 | 第81页 |
| 6.2 多维超精密定位系统解耦控制 | 第81-84页 |
| 6.3 多维超精密压电定位平台简介 | 第84-89页 |
| 6.4 德国PI公司三维精密压电陶瓷超精密定位系统建模与控制 | 第89-109页 |
| 6.5 本章小结 | 第109-111页 |
| 第七章 总结与展望 | 第111-116页 |
| 7.1 总结 | 第111-113页 |
| 7.2 论文主要的创新点 | 第113-114页 |
| 7.3 发展与展望 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文 | 第123-124页 |
| 攻读博士期间参加的科研项目 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125-126页 |