微尺度光栅的激光制备方法研究及应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第11-16页 |
| 1.2.1 基于光栅的光测力学方法的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 光栅的制备方法的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 激光制作光栅研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 本文研究目标和主要内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微尺度变形测量方法研究 | 第17-29页 |
| 2.1 本章概述 | 第17页 |
| 2.2 几何相位法 | 第17-23页 |
| 2.2.1 几何相位法的基本原理 | 第17-19页 |
| 2.2.2 几何相位法程序的使用 | 第19-20页 |
| 2.2.3 光栅表征方法 | 第20-23页 |
| 2.2.4 几何相位法小结 | 第23页 |
| 2.3 SEM云纹法 | 第23-28页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第23-24页 |
| 2.3.2 SEM云纹法的原理 | 第24-27页 |
| 2.3.3 SEM云纹法小结 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 纳秒激光制作微尺度光栅方法研究 | 第29-53页 |
| 3.1 本章概述 | 第29页 |
| 3.2 纳秒激光的刻蚀原理 | 第29-30页 |
| 3.3 实验设备和试件制备 | 第30-32页 |
| 3.4 纳秒激光刻蚀线段研究 | 第32-44页 |
| 3.4.1 在金属上的刻蚀线研究 | 第32-35页 |
| 3.4.2 在硅片上的刻蚀线研究 | 第35-37页 |
| 3.4.3 在陶瓷和石英玻璃上的刻蚀线研究 | 第37-38页 |
| 3.4.4 在银膜上的刻蚀线研究 | 第38-41页 |
| 3.4.5 在铝膜上的刻蚀线研究 | 第41页 |
| 3.4.6 纳秒激光刻蚀线段小结 | 第41-44页 |
| 3.5 纳秒激光制作微尺度光栅 | 第44-51页 |
| 3.5.1 在金属和硅片上的制作光栅研究 | 第44-47页 |
| 3.5.2 在银膜上的制作光栅研究 | 第47页 |
| 3.5.3 在铝膜上的制作光栅研究 | 第47-48页 |
| 3.5.4 纳秒激光制作光栅表征 | 第48-49页 |
| 3.5.5 制作光栅结果分析 | 第49-51页 |
| 3.6 本章小结 | 第51-53页 |
| 第4章 飞秒激光制作微尺度光栅方法研究 | 第53-68页 |
| 4.1 本章概述 | 第53页 |
| 4.2 飞秒激光作用机理 | 第53-54页 |
| 4.3 飞秒激光实验系统和试件 | 第54-56页 |
| 4.4 飞秒激光加工点研究 | 第56-60页 |
| 4.5 飞秒激光加工线研究 | 第60-63页 |
| 4.6 飞秒激光加工光栅研究 | 第63-67页 |
| 4.7 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 激光制作微尺度光栅应用 | 第68-74页 |
| 5.1 本章概述 | 第68页 |
| 5.2 平行光栅的水平拉伸实验 | 第68-72页 |
| 5.2.1 试件及实验设备 | 第68-70页 |
| 5.2.2 实验步骤 | 第70页 |
| 5.2.3 实验结果分析 | 第70-72页 |
| 5.3 V形裂纹的拉伸变形测量 | 第72-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第6章 结论与展望 | 第74-77页 |
| 6.1 论文总结 | 第74-75页 |
| 6.2 研究展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 在学期间发表的学术论文及其他科研成果 | 第82页 |
