| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 飞秒激光简述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 飞秒激光器的发展 | 第9页 |
| 1.1.2 飞秒激光加工特点 | 第9-11页 |
| 1.2 飞秒激光加工电介质材料的研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 飞秒激光加工电介质的实验研究 | 第12-16页 |
| 1.2.2 飞秒激光加工电介质的理论研究 | 第16-19页 |
| 1.3 本课题研究背景及主要工作 | 第19-22页 |
| 1.3.1 研究背景 | 第19页 |
| 1.3.2 研究内容及技术路线 | 第19-22页 |
| 2 飞秒激光与石英玻璃作用机理 | 第22-29页 |
| 2.1 飞秒激光与电介质作用的物理过程 | 第22-25页 |
| 2.1.1 电离机制 | 第22-24页 |
| 2.1.2 材料的去除机制 | 第24-25页 |
| 2.2 飞秒激光烧蚀电介质材料理论模型 | 第25-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 飞秒激光烧蚀石英玻璃微孔结构 | 第29-41页 |
| 3.1 实验研究方案 | 第29-33页 |
| 3.1.1 实验设备 | 第29-31页 |
| 3.1.2 实验材料 | 第31页 |
| 3.1.3 实验方法 | 第31-32页 |
| 3.1.4 检测手段 | 第32-33页 |
| 3.2 单脉冲微孔烧蚀研究 | 第33-36页 |
| 3.2.1 单脉冲烧蚀阈值的实验测量 | 第33-35页 |
| 3.2.2 单脉冲烧蚀深度的实验测量 | 第35-36页 |
| 3.3 多脉冲微孔烧蚀研究 | 第36-40页 |
| 3.3.1 脉冲数对微孔烧蚀形貌的影响规律 | 第36-38页 |
| 3.3.2 多脉冲烧蚀阈值及累积系数 | 第38-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 飞秒激光加工石英玻璃线槽结构 | 第41-52页 |
| 4.1 飞秒激光加工石英玻璃线槽实验 | 第41-48页 |
| 4.1.1 扫描速度对线槽形貌影响规律 | 第41-44页 |
| 4.1.2 脉冲能量对线槽形貌影响规律 | 第44-46页 |
| 4.1.3 激光加工参数对线槽形状影响规律 | 第46-48页 |
| 4.2 飞秒激光加工石英玻璃线槽仿真建模 | 第48-50页 |
| 4.2.1 线槽仿真模型建立基本思路及假设 | 第48页 |
| 4.2.2 线槽仿真模型建立 | 第48-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 5 飞秒激光减薄石英玻璃凹槽结构 | 第52-68页 |
| 5.1 线重叠率对凹槽形状及形貌影响规律 | 第52-56页 |
| 5.1.1 线重叠率对凹槽截面形状影响规律 | 第53-54页 |
| 5.1.2 线重叠率对凹槽底面形貌影响规律 | 第54-56页 |
| 5.2 飞秒激光单层减薄石英玻璃凹槽仿真建模分析 | 第56-59页 |
| 5.2.1 凹槽仿真模型建立 | 第56-58页 |
| 5.2.2 凹槽仿真模型验证及分析 | 第58-59页 |
| 5.3 双层减薄方式对石英玻璃凹槽形状及形貌影响规律 | 第59-66页 |
| 5.3.1 Z轴不进给双层叠加减薄方式 | 第59-61页 |
| 5.3.2 Z轴进给双层重复叠加减薄方式 | 第61-63页 |
| 5.3.3 Z轴进给双层垂直叠加减薄方式 | 第63-65页 |
| 5.3.4 双层减薄方式对凹槽形状及底面粗糙度影响的对比分析 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |