| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 非球面介绍 | 第10-12页 |
| 1.1.1 非球面性质 | 第10页 |
| 1.1.2 非球面应用 | 第10-12页 |
| 1.2 凸非球面干涉检测方法 | 第12-17页 |
| 1.2.1 无像差点法 | 第12-13页 |
| 1.2.2 补偿检验法 | 第13-17页 |
| 1.3 论文研究背景 | 第17页 |
| 1.4 论文的结构安排 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 第2章 基于部分补偿原理和数字莫尔移相技术的非球面检测理论 | 第19-29页 |
| 2.1 检测原理 | 第19-20页 |
| 2.2 部分补偿镜的评价条件 | 第20-21页 |
| 2.3 斜率非球面度 | 第21-28页 |
| 2.3.1 斜率非球面度定义 | 第22-23页 |
| 2.3.2 斜率非球面度计算方法 | 第23-25页 |
| 2.3.3 最小最大斜率非球面度与非球面各参数的关系 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 单透镜部分补偿器设计 | 第29-42页 |
| 3.1 单透镜部分补偿器设计目的 | 第29页 |
| 3.2 单透镜部分补偿器的基本结构 | 第29-30页 |
| 3.3 单透镜部分补偿器初始结构的求解 | 第30-32页 |
| 3.4 单透镜部分补偿器的优化 | 第32-34页 |
| 3.5 单透镜部分补偿器的设计实例 | 第34-38页 |
| 3.6 单透镜部分补偿器的补偿范围 | 第38-40页 |
| 3.6.1 单透镜部分补偿器的补偿范围与非球面相对孔径的关系 | 第38-40页 |
| 3.6.2 单透镜部分补偿器的补偿范围与非球面二次曲面系数的关系 | 第40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 折反式部分补偿器设计 | 第42-56页 |
| 4.1 折反式部分补偿镜设计目的 | 第42页 |
| 4.2 折反式部分补偿器的基本结构 | 第42-43页 |
| 4.3 折反式部分补偿器初始结构的求解 | 第43-46页 |
| 4.3.1 球面反射镜初始光学参数的求解 | 第43-45页 |
| 4.3.2 折射式透镜初始光学参数的求解 | 第45-46页 |
| 4.4 折反式部分补偿器的优化 | 第46-48页 |
| 4.5 折反式部分补偿器的设计实例 | 第48-52页 |
| 4.6 与准零补偿器比较 | 第52-55页 |
| 4.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 非球面面形误差检测仿真分析 | 第56-65页 |
| 5.1 仿真分析的方法和流程 | 第56-57页 |
| 5.2 模拟理想干涉图 | 第57-59页 |
| 5.3 仿真实际干涉图 | 第59-61页 |
| 5.4 面形误差数据处理算法 | 第61-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
