| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第13-16页 |
| 1.3 光栅刻划机国内外研究现状及发展趋势 | 第16-20页 |
| 1.4 论文主要研究内容和结构安排 | 第20-23页 |
| 1.4.1 论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 1.4.2 论文结构安排 | 第21-23页 |
| 第2章 光栅刻划机工作原理、误差来源及误差分配 | 第23-41页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 光栅刻划机主要结构形式及工作原理 | 第23-30页 |
| 2.2.1 光栅刻划的几种主要结构形式 | 第23-28页 |
| 2.2.2 光栅刻划机分度系统工作原理 | 第28页 |
| 2.2.3 光栅刻划机刻划系统工作原理 | 第28-30页 |
| 2.3 光栅刻划机系统误差主要来源 | 第30-34页 |
| 2.3.1 分度系统误差主要来源 | 第30-31页 |
| 2.3.2 刻划系统误差主要来源 | 第31-32页 |
| 2.3.3 环境条件对光栅刻划的影响 | 第32-34页 |
| 2.4 光栅刻线弯曲误差检测方法 | 第34-36页 |
| 2.5 大光栅刻划机技术指标及误差分配 | 第36-39页 |
| 2.5.1 大光栅刻划机的技术指标 | 第36-37页 |
| 2.5.2 大光栅刻划机的误差分配 | 第37-39页 |
| 2.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 刻划系统石英导轨方案结构设计及误差分析 | 第41-81页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 刻划系统石英导轨方案结构设计 | 第41-63页 |
| 3.2.1 石英导向导轨的设计 | 第42-46页 |
| 3.2.2 刻划刀具系统的设计 | 第46-50页 |
| 3.2.3 等速凸轮驱动机构的设计 | 第50-63页 |
| 3.3 光栅刻划机刻划系统误差的分析、检测及修正 | 第63-71页 |
| 3.3.1 刻划系统的装配误差 | 第63-67页 |
| 3.3.2 驱动机构传递链中的振动对导向导轨的影响 | 第67-71页 |
| 3.4 非等速驱动方案设计及刻划实验 | 第71-78页 |
| 3.4.1 非等速凸轮驱动方案结构设计及实验验证 | 第72-76页 |
| 3.4.2 曲柄连杆驱动方案结构设计及实验验证 | 第76-78页 |
| 3.5 本章小结 | 第78-81页 |
| 第4章 气浮导向导轨结构方案的设计 | 第81-105页 |
| 4.1 引言 | 第81页 |
| 4.2 静压气浮导轨的结构及基本工作原理 | 第81-88页 |
| 4.2.1 气浮导轨工作原理 | 第82页 |
| 4.2.2 节流器基本类型及工作原理 | 第82-85页 |
| 4.2.3 静压气浮导轨的常见结构形式 | 第85-86页 |
| 4.2.4 静压气体润滑理论 | 第86-88页 |
| 4.3 气浮导向导轨的结构设计 | 第88-100页 |
| 4.3.1 气浮导向导轨的设计要求及材料选择 | 第88-89页 |
| 4.3.2 气浮导向导轨结构方案 | 第89-91页 |
| 4.3.3 气浮导轨结构参数计算及静力学分析 | 第91-100页 |
| 4.4 气浮导轨承载力及刚度分析 | 第100-103页 |
| 4.5 本章小结 | 第103-105页 |
| 第5章 气浮导向导轨对刻线弯曲误差的影响分析及实验验证 | 第105-125页 |
| 5.1 引言 | 第105页 |
| 5.2 气浮导轨对刻线弯曲误差影响分析及检测 | 第105-120页 |
| 5.2.1 气浮导轨直线精度检测及装配中的误差控制 | 第105-113页 |
| 5.2.2 动导轨的偏转角检测及对光栅刻划的影响 | 第113-115页 |
| 5.2.3 气浮导轨自身振动及隔振 | 第115-117页 |
| 5.2.4 空气扰动影响分析及金刚石刻刀直线精度检测 | 第117-120页 |
| 5.3 气浮导轨承载下的光栅刻划实验及检测 | 第120-124页 |
| 5.4 本章小结 | 第124-125页 |
| 第6章 总结与展望 | 第125-127页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第125-126页 |
| 6.2 展望 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-135页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第135-137页 |
| 指导教师及作者简介 | 第137-139页 |
| 致谢 | 第139页 |
