| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 MOEMS微镜系统的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 MOEMS微镜的应用 | 第10-13页 |
| 1.2.2 MOEMS微镜驱动技术 | 第13-15页 |
| 1.3 PLZT陶瓷国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 PLZT陶瓷反常光生伏特效应的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.2 PLZT陶瓷的光致伸缩效应的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 论文的研究内容与结构 | 第19-21页 |
| 2 PLZT陶瓷多物理场耦合特性分析 | 第21-31页 |
| 2.1 PLZT陶瓷材料的固溶体系 | 第21-22页 |
| 2.2 PLZT陶瓷多物理场耦合机理分析 | 第22-25页 |
| 2.2.1 PLZT陶瓷的反常光生伏特效应 | 第23页 |
| 2.2.2 PLZT陶瓷的热释电效应 | 第23-24页 |
| 2.2.3 PLZT陶瓷的压电效应 | 第24-25页 |
| 2.3 光照阶段PLZT陶瓷多物理场耦合数学模型 | 第25-28页 |
| 2.3.1 反常光生伏特效应数学模型 | 第25-26页 |
| 2.3.2 热释电效应数学模型 | 第26-27页 |
| 2.3.3 热膨胀效应数学模型 | 第27-28页 |
| 2.4 光停阶段PLZT陶瓷多物理场耦合数学模型 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 光控PLZT陶瓷微镜结构设计及力学性能研究 | 第31-50页 |
| 3.1 光控微镜平移机构方案设计 | 第31-39页 |
| 3.1.1 光控微镜平移驱动机构 | 第31-36页 |
| 3.1.1.1 PLZT陶瓷串联驱动机构 | 第31-32页 |
| 3.1.1.2 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构 | 第32-36页 |
| 3.1.2 光控微镜平移放大机构 | 第36-37页 |
| 3.1.3 光控微镜传动支撑机构 | 第37-38页 |
| 3.1.4 光控微镜平移导向机构 | 第38-39页 |
| 3.1.5 光控微镜平移机构材料选取 | 第39页 |
| 3.2 光控微镜旋转机构方案设计 | 第39-40页 |
| 3.3 光控微镜平移机构尺寸计算与力学性能分析 | 第40-48页 |
| 3.3.1 光控微镜平移机构尺寸计算 | 第41-45页 |
| 3.3.1.1 光控微镜平移机构刚度分析 | 第41-42页 |
| 3.3.1.2 光控微镜平移机构实际输出位移分析 | 第42-43页 |
| 3.3.1.3 光控微镜平移机构固有频率分析 | 第43页 |
| 3.3.1.4 柔性铰链参数选定 | 第43-45页 |
| 3.3.2 光控微镜平移机构有限元分析 | 第45-48页 |
| 3.4 光控微镜旋转机构旋转角度计算 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 光控微镜用PLZT陶瓷执行器的闭环控制仿真 | 第50-64页 |
| 4.1 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制数值仿真 | 第50-55页 |
| 4.1.1 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制模型 | 第50页 |
| 4.1.2 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制模型参数识别 | 第50-53页 |
| 4.1.3 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制仿真流程 | 第53-54页 |
| 4.1.4 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制仿真结果 | 第54-55页 |
| 4.2 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制仿真分析 | 第55-59页 |
| 4.2.1 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制模型 | 第55-56页 |
| 4.2.2 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制模型的参数识别 | 第56-57页 |
| 4.2.3 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制仿真流程 | 第57-58页 |
| 4.2.4 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制仿真结果 | 第58-59页 |
| 4.3 PLZT陶瓷光生电压的闭环控制数值仿真 | 第59-63页 |
| 4.3.1 PLZT陶瓷光生电压的闭环控制模型 | 第59-60页 |
| 4.3.2 PLZT陶瓷光生电压闭环控制模型的参数识别 | 第60-61页 |
| 4.3.3 PLZT陶瓷光生电压闭环控制仿真流程 | 第61-62页 |
| 4.3.4 PLZT陶瓷光生电压闭环控制仿真结果 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 光控微镜用PLZT陶瓷执行器的闭环控制实验研究 | 第64-80页 |
| 5.1 PLZT陶瓷光致微位移闭环控制实验 | 第64-72页 |
| 5.1.1 PLZT陶瓷光控伺服系统实验平台 | 第64-66页 |
| 5.1.2 简单ON-OFF控制策略 | 第66-67页 |
| 5.1.3 简单ON-OFF策略PLZT陶瓷光致微位移闭环控制实验结果 | 第67-69页 |
| 5.1.4 改进型ON-OFF控制策略 | 第69-70页 |
| 5.1.5 改进型ON-OFF策略的PLZT陶瓷光致微位移闭环控制实验结果 | 第70-71页 |
| 5.1.6 PLZT陶瓷光致微位移多目标闭环控制实验 | 第71-72页 |
| 5.2 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制实验 | 第72-74页 |
| 5.2.1 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制实验装置 | 第72-73页 |
| 5.2.2 PLZT/PVDF层合悬臂梁复合驱动机构闭环控制实验结果 | 第73-74页 |
| 5.3 PLZT陶瓷光生电压闭环控制实验 | 第74-79页 |
| 5.3.1 单片式PLZT陶瓷光生电压闭环控制实验 | 第75-77页 |
| 5.3.1.1 单片式PLZT陶瓷光生电压闭环控制实验装置 | 第75-76页 |
| 5.3.1.2 单片式PLZT陶瓷光生电压闭环控制实验结果 | 第76-77页 |
| 5.3.2 PLZT陶瓷双晶片光生电压闭环控制实验 | 第77-79页 |
| 5.3.2.1 PLZT陶瓷双晶片光生电压闭环控制实验流程 | 第78页 |
| 5.3.2.2 PLZT陶瓷双晶片光生电压闭环控制实验结果 | 第78-79页 |
| 5.4 本章小结 | 第79-80页 |
| 6 全文总结与展望 | 第80-82页 |
| 6.1 本文的主要工作和创新点 | 第80页 |
| 6.2 研究工作的展望 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-90页 |
| 附录 | 第90页 |
