| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第11-15页 |
| 1.1.1 微位移进给的应用 | 第11-12页 |
| 1.1.2 微位移驱动器的分类 | 第12-15页 |
| 1.2 基于静压膨胀原理的驱动器研究进展 | 第15-17页 |
| 1.2.1 静压膨胀式刀具夹头 | 第16页 |
| 1.2.2 液压式微量进给刀柄 | 第16-17页 |
| 1.3 课题来源及主要研究内容 | 第17-19页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第17-18页 |
| 1.3.2 主要研究内容及章节安排 | 第18-19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 微位移驱动器系统方案分析和设计 | 第20-32页 |
| 2.1 静压膨胀式微位移驱动理论分析 | 第20-25页 |
| 2.1.1 液体压缩特性理论分析 | 第20-21页 |
| 2.1.2 受静压作用的圆形薄板弯曲问题分析 | 第21-25页 |
| 2.2 静压膨胀式微位移驱动器总体设计 | 第25-27页 |
| 2.3 微位移驱动器结构设计 | 第27-31页 |
| 2.3.1 薄壁腔体结构设计 | 第28页 |
| 2.3.2 驱动块及其油路系统设计 | 第28-30页 |
| 2.3.3 主要连接部位结构设计 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 微位移驱动器性能分析及优化 | 第32-54页 |
| 3.1 驱动单元位移输出特性分析 | 第32-36页 |
| 3.1.1 圆柱型腔体驱动单元的位移输出特性分析 | 第32-34页 |
| 3.1.2 改进型腔体驱动单元位移输出特性分析 | 第34-36页 |
| 3.2 驱动器接触刚度特性分析 | 第36-44页 |
| 3.2.1 接触相关理论及模型分析 | 第36-39页 |
| 3.2.2 驱动器接触模型建立及结果分析 | 第39-44页 |
| 3.3 长圆柱内凸型驱动单元设计变量灵敏度分析 | 第44-49页 |
| 3.4 微位移驱动器腔体结构优化设计 | 第49-53页 |
| 3.4.1 驱动单元优化模型建立 | 第51-52页 |
| 3.4.2 优化结果分析 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 4 微位移驱动器性能测试及结果分析 | 第54-61页 |
| 4.1 驱动器性能测试试验台设计 | 第54-55页 |
| 4.2 位移输出特性试验及结果分析 | 第55-59页 |
| 4.3 接触刚度特性试验及结果分析 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 微位移驱动器控制系统设计与分析 | 第61-80页 |
| 5.1 控制系统设计及实物构成 | 第61-63页 |
| 5.2 试验装置各模块说明 | 第63-66页 |
| 5.3 系统输入输出特性分析及测试 | 第66-69页 |
| 5.4 控制对象特性分析和控制策略 | 第69-73页 |
| 5.4.1 控制对象特性和控制策略选择 | 第69-71页 |
| 5.4.2 数字PID控制相关理论 | 第71-73页 |
| 5.5 微位移驱动器系统建模与分析 | 第73-75页 |
| 5.5.1 控制器PID参数整定 | 第73页 |
| 5.5.2 simulink仿真模型建立及结果分析 | 第73-75页 |
| 5.6 PLC控制系统程序设计 | 第75-78页 |
| 5.7 试验及结果分析 | 第78-79页 |
| 5.8 本章小结 | 第79-80页 |
| 6 总结和展望 | 第80-82页 |
| 6.1 全文总结 | 第80-81页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第86页 |