真空环境下静压气体轴承性能检测装置设计
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-16页 |
| 1 绪论 | 第16-26页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-24页 |
| ·气体润滑技术的发展 | 第16-17页 |
| ·静压气体轴承理论计算模型研究 | 第17-18页 |
| ·静压气体轴承特性研究 | 第18-19页 |
| ·非连续流体理论分析方法研究 | 第19-21页 |
| ·真空环境下静压气体轴承密封排气系统研究 | 第21-22页 |
| ·真空环境下静压气体轴承性能计算与特性研究 | 第22页 |
| ·静压气体轴承性能检测装置设计研究 | 第22-23页 |
| ·真空系统设计研究 | 第23-24页 |
| ·本文主要研究内容 | 第24-26页 |
| 2 真空环境下静压气体轴承性能分析数学模型 | 第26-36页 |
| ·真空系统中气体流态和管道流导 | 第26-32页 |
| ·气体流态划分 | 第26页 |
| ·气体流态判别 | 第26-28页 |
| ·管道流导计算 | 第28-32页 |
| ·真空环境下静压气体轴承性能分析数学模型 | 第32-35页 |
| ·真空环境下静压气体轴承结构 | 第32-33页 |
| ·真空环境下静压气体轴承特性计算 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 3 真空环境下静压气体轴承性能检测装置设计 | 第36-52页 |
| ·真空材料的选型原则 | 第36-37页 |
| ·检测装置整体结构 | 第37-38页 |
| ·载荷施加单元 | 第38-41页 |
| ·载荷施加单元结构设计 | 第38-40页 |
| ·载荷施加单元中顶板受力分析 | 第40-41页 |
| ·轴承性能测量单元 | 第41-45页 |
| ·载荷测量单元 | 第41-42页 |
| ·气膜厚度测量单元 | 第42-43页 |
| ·气体压力测量单元 | 第43-45页 |
| ·单轴直线运动定位平台 | 第45-51页 |
| ·平台结构设计 | 第45-46页 |
| ·导轨和滚珠丝杠选型 | 第46-47页 |
| ·步进电机选型 | 第47-49页 |
| ·止推板和平台受力分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 真空室抽气系统与轴承供排气系统设计 | 第52-62页 |
| ·真空系统组建方法 | 第52-53页 |
| ·真空室抽气系统设计 | 第53-59页 |
| ·轴承排气系统设计 | 第59-61页 |
| ·轴承供气系统设计 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 真空室与电气控制柜设计 | 第62-73页 |
| ·真空室结构设计 | 第62-68页 |
| ·真空室壳体设计 | 第62-63页 |
| ·真空室接口设计 | 第63-68页 |
| ·真空室受力分析 | 第68-69页 |
| ·电气控制柜设计 | 第69-72页 |
| ·真空系统电气控制原理 | 第69-72页 |
| ·真空系统电气控制柜设计 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 6 整体装置 | 第73-76页 |
| ·整体装置结构 | 第73-74页 |
| ·整体装置运行流程 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 7 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 附录 | 第83-85页 |
| 作者简历 | 第85页 |
