| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·硬质涂层的材料体系 | 第10-14页 |
| ·普通硬质涂层 | 第10-12页 |
| ·超硬涂层 | 第12-14页 |
| ·硬质涂层的应用及发展历程 | 第14-16页 |
| ·硬质涂层的制备方法 | 第16-21页 |
| ·化学气相沉积技术 | 第17页 |
| ·物理气相沉积技术 | 第17-19页 |
| ·高功率脉冲磁控溅射技术 | 第19-21页 |
| ·CrB_2涂层的研究进展 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第23-26页 |
| 2 实验仪器与表征方法 | 第26-35页 |
| ·CrB_2涂层的制备方法 | 第26-27页 |
| ·靶材的选取 | 第27-28页 |
| ·CrB_2涂层的沉积工艺 | 第28-29页 |
| ·CrB_2涂层的表征方法 | 第29-35页 |
| 3 HiPIMS制备CrB_2涂层及其成分、结构、力学和摩擦性能研究 | 第35-46页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·制备方法 | 第35-36页 |
| ·涂层成分、结构和微观形貌表征 | 第36-40页 |
| ·涂层成分分析 | 第36-37页 |
| ·涂层化学键态分析 | 第37-38页 |
| ·涂层的物相表征 | 第38-39页 |
| ·涂层微观形貌 | 第39-40页 |
| ·涂层力学性能 | 第40-41页 |
| ·涂层的摩擦学性能 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 4 沉积温度对CrB_2涂层结构和力学性能的影响 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46-47页 |
| ·制备方法 | 第47页 |
| ·沉积温度对涂层成分、结构和微观形貌的影响 | 第47-55页 |
| ·成分和化学键态分析 | 第47-49页 |
| ·物相结构分析 | 第49-50页 |
| ·微观结构分析 | 第50-55页 |
| ·沉积温度对涂层力学性能的影响 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 CrB_2涂层的热稳定性及电化学性质 | 第58-64页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·试验方法 | 第58-59页 |
| ·热稳定性分析 | 第59-60页 |
| ·电化学性能分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-76页 |
| 硕士期间已发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |