碳纳米管场发射技术及电真空器件研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 一、绪论 | 第10-31页 |
| 1. 场发射技术简介 | 第10-14页 |
| ·场发射原理 | 第10-11页 |
| ·场发射相关因素 | 第11-12页 |
| ·场发射阴极材料 | 第12-14页 |
| 2 碳纳米管介绍 | 第14-29页 |
| ·碳纳米管的结构及分类 | 第15-17页 |
| ·碳纳米管的性质 | 第17-19页 |
| ·碳纳米管的制备 | 第19-21页 |
| ·碳纳米管的应用 | 第21-29页 |
| 3. 立题的目的与意义 | 第29-30页 |
| 4. 技术路线 | 第30-31页 |
| 二、实验设备与实验方法 | 第31-35页 |
| 1. CVD 系统和碳纳米管的制备 | 第31-32页 |
| ·CVD 系统的设计 | 第31-32页 |
| ·碳纳米管的制备 | 第32页 |
| 2. 碳纳米管结构表征设备 | 第32-33页 |
| ·SEM | 第32-33页 |
| ·HRTEM | 第33页 |
| 3. 场发射测试系统设计 | 第33-35页 |
| ·二极式场发射阴极的设计 | 第33-34页 |
| ·三极式场发射阴极的设计 | 第34-35页 |
| 三 实验结果与分析 | 第35-55页 |
| 1. 二极式场发射测试 | 第35-45页 |
| ·场发射电流密度和外加电场强度的关系 | 第36-37页 |
| ·碳纳米管样品场发射的重复性 | 第37-39页 |
| ·碳纳米管场发射的 F-N 特性分析 | 第39-44页 |
| ·碳纳米管场发射稳定性分析 | 第44-45页 |
| 2. 三极式场发射阴极测试 | 第45-48页 |
| ·碳纳米管电子源的性能 | 第45-46页 |
| ·三极式场发射阴极透过率的影响因素 | 第46-48页 |
| 3. 电真空器件研究 | 第48-55页 |
| ·基于气体吸附的 MWNTs 场发射真空计 | 第48-54页 |
| ·CNT 源电离真空计 | 第54-55页 |
| 四、总结 | 第55-58页 |
| 参考文献 | 第58-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67页 |
