| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-28页 |
| ·镍合金的研究背景及现状 | 第8-10页 |
| ·薄膜材料概述 | 第10页 |
| ·靶材市场概述 | 第10-16页 |
| ·溅射靶材的种类 | 第12-13页 |
| ·溅射靶材的应用 | 第13-16页 |
| ·镍合金靶材和薄膜研究背景 | 第16-17页 |
| ·镍合金的占位有序化行为研究背景 | 第17-19页 |
| ·计算机辅助材料设计与模拟方法 | 第19-24页 |
| ·热力学相图计算方法简介 | 第19页 |
| ·热力学计算软件包Thermo-Cale简介 | 第19-21页 |
| ·合金凝固模型简介 | 第21-22页 |
| ·第一性原理总能计算方法简介 | 第22-24页 |
| ·第一性原理计算软件包VASP简介 | 第24页 |
| ·合金制备实验方法 | 第24-25页 |
| ·本论文的研究目的、内容、基本思路和技术路线 | 第25-28页 |
| 第二章 镍合金金属间化合物的有序化行为研究 | 第28-43页 |
| ·总能计算参数设置 | 第28-30页 |
| ·海量端基化合物的结构和能量计算自动化程序 | 第30-33页 |
| ·计算模型和计算方法 | 第33-36页 |
| ·计算模型 | 第33-36页 |
| ·计算方法 | 第36页 |
| ·Cr_3Ni基合金中元素的占位行为讨论 | 第36-41页 |
| ·合金元素在化学计量比的Cr3Ni基合金的占位行为 | 第36-38页 |
| ·合金元素在非化学计量比的Cr3Ni基合金的占位行为 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 Ni-Cr系金属间化合物的弹性性质研究 | 第43-46页 |
| ·弹性常数的计算模型与计算方法 | 第43-45页 |
| ·晶体结构与模型 | 第43页 |
| ·计算方法 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 镍铬合金靶材的制备、组织及性能研究 | 第46-79页 |
| ·计算方法和实验过程 | 第46-49页 |
| ·计算方法 | 第46页 |
| ·实验过程 | 第46-49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-77页 |
| ·合金相图计算与相结构预测 | 第49-53页 |
| ·合金凝固过程模拟 | 第53-57页 |
| ·合金靶材显微组织分析 | 第57-69页 |
| ·合金靶材硬度分析 | 第69页 |
| ·合金靶材耐蚀性分析 | 第69-75页 |
| ·镀膜测试 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 结论 | 第79-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 个人简历 | 第88-90页 |
| 在学期间的研究成果和发表的学术论文 | 第90页 |