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SiC低温外延石墨烯的工艺探讨及物性预测

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-8页
第一章 绪论第8-18页
   ·石墨烯基本结构和性质第9-13页
     ·石墨烯基本结构第9-10页
     ·石墨烯的奇特性质第10-13页
   ·SiC 晶体结构及卤素刻蚀法第13-16页
     ·SiC 晶体结构第13-15页
     ·SiC 的卤素刻蚀法第15-16页
   ·本文主要内容和创新点第16-18页
     ·本文主要内容第16页
     ·本文创新点第16-18页
第二章 相关软件简介第18-22页
   ·HSC-Chemistry第18-20页
     ·HSC Chemistry 软件简介第18-19页
     ·Equilibrium Composition 模块简介第19-20页
   ·Materials Studio第20-21页
     ·Materials Studio 软件简介第20页
     ·CASTEP 模块简介第20-21页
   ·小结第21-22页
第三章 氯基气体与 SiC 反应的热动力学和实验探究第22-34页
   ·热动力学研究第22-23页
   ·热动力学模拟结果第23-28页
     ·SiC+Cl_2(g)系统第23-24页
     ·SiC+Ar(g)+Cl_2(g)系统第24-25页
     ·SiC+Ar(g)+Cl_2(g)+H_2(g)系统第25-27页
     ·SiC+Ar(g)+Cl_2(g)+H_2(g)+O_2(g)系统第27-28页
   ·实验探究第28-31页
     ·前驱体的准备第28-29页
     ·实验工艺过程第29-30页
     ·实验方案设计第30-31页
   ·结果与讨论第31-33页
     ·氯化处理对实验的影响第31-32页
     ·退火处理对实验的影响第32-33页
     ·AFM 表征第33页
   ·小结第33-34页
第四章 石墨烯对氢的吸附性能探究第34-46页
   ·本征石墨烯的氢吸附性能计算第35-40页
     ·初始结构和吸附能第36-38页
     ·电荷密度差第38-39页
     ·态密度第39-40页
   ·掺杂石墨烯的氢吸附性能计算第40-44页
     ·初始构型与吸附能第40-42页
     ·电荷密度差第42-43页
     ·态密度第43-44页
   ·小结第44-46页
第五章 6H-SiC 稀磁性研究第46-52页
   ·模型和计算方法第46-47页
     ·理论模型第46-47页
     ·计算方法第47页
   ·计算结果与讨论第47-51页
     ·未掺杂 6H-SiC 优化结果与讨论第47-48页
     ·TM 掺杂 6H-SiC 磁性机理第48-51页
   ·小结第51-52页
第六章 总结第52-54页
致谢第54-56页
参考文献第56-62页
攻读硕士学位期间研究成果第62-63页

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