| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-25页 |
| ·稀土抛光粉简介 | 第10-16页 |
| ·稀土抛光粉的生产、技术现状 | 第11-12页 |
| ·稀土抛光粉的应用现状与发展趋势 | 第12-13页 |
| ·稀土抛光粉的主要性能指标及影响因素 | 第13-15页 |
| ·氧化铈基稀土抛光粉的抛光机理 | 第15-16页 |
| ·CMP浆料的研究现状和发展趋势 | 第16-18页 |
| ·传统单一CMP磨料 | 第16-17页 |
| ·复合CMP磨料 | 第17-18页 |
| ·颗粒复合技术 | 第18-23页 |
| ·复合颗粒简介 | 第18-19页 |
| ·复合颗粒的形成机理 | 第19页 |
| ·复合颗粒制备方法 | 第19-23页 |
| ·本课题的选题依据和意义 | 第23页 |
| ·本课题的研究目标及研究内容 | 第23-25页 |
| ·本课题研究目标 | 第23页 |
| ·本课题研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 Ce_(1-x)Ti_xO_2复合粉体的制备与性能研究 | 第25-34页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验部分 | 第25-26页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第25-26页 |
| ·实验方法 | 第26页 |
| ·分析与测试 | 第26页 |
| ·结果与讨论 | 第26-30页 |
| ·不同Ti掺杂量对Ce_(1-x)Ti_xO_2粉体性能的影响 | 第26-28页 |
| ·Ce_(1-x)Ti_xO_2前驱体的TG/DSC分析 | 第28页 |
| ·焙烧温度对粉体性能的影响 | 第28-30页 |
| ·Ce_(1-x)Ti_xO_2复合氧化物的抛光性能 | 第30-33页 |
| ·不同¨掺杂量对Ce_(1-x)Ti_xO_2抛光性能的影响 | 第30-31页 |
| ·不同焙烧温度对Ce_(1-x)Ti_xO_2抛光性能的影响 | 第31页 |
| ·玻璃基片抛光表面划伤分析 | 第31-32页 |
| ·Ce_(1-x)Ti_xO_2抛光性能改善的机理分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 CeO_2@SiO_2复合粉体的制备与性能研究 | 第34-49页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·实验部分 | 第34-35页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第34页 |
| ·复合粉体的制备 | 第34-35页 |
| ·分析与测试 | 第35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-40页 |
| ·反应条件对包覆效果的影响 | 第35-38页 |
| ·工艺优化对包覆效果的影响 | 第38-40页 |
| ·复合粉体的表征 | 第40-45页 |
| ·前驱体的热分析 | 第40-41页 |
| ·复合粉体的XRD分析 | 第41-42页 |
| ·复合粉体的SEM和EDS表征 | 第42-43页 |
| ·复合粉体的IR分析 | 第43-44页 |
| ·复合粉体的XPS分析 | 第44-45页 |
| ·包覆机理分析 | 第45-48页 |
| ·包覆形核机理 | 第45-47页 |
| ·包覆过程 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 CeO_2基复合粉体的CMP性能研究 | 第49-58页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·实验部分 | 第49-50页 |
| ·实验原料及仪器 | 第49页 |
| ·抛光实验 | 第49-50页 |
| ·分析与测试 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-55页 |
| ·不同种类抛光粉的抛光效果比较 | 第50-51页 |
| ·抛光后玻璃表面形貌分析 | 第51-52页 |
| ·抛光浆料配方的研究 | 第52-55页 |
| ·CMP抛光机理分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 全文总结与展望 | 第58-61页 |
| ·伞文总结 | 第58-59页 |
| ·主要创新点 | 第59页 |
| ·全文展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及专利情况 | 第66页 |
