单晶硅晶体特性的压痕仿真与试验研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-12页
第1章 绪论	第12-22页
·课题背景及研究目的和意义	第12-13页
·单晶硅纳米压痕国内外研究现状	第13-20页
·单晶硅纳米压痕技术国内外研究现状	第13-16页
·纳米压痕过程中单晶硅相变研究现状	第16-20页
·本文研究主要内容	第20-22页
第2章 单晶硅各向异性本构模型	第22-34页
·常态下单晶硅晶体结构	第22-23页
·单晶硅受压下的相变研究	第23-25页
·MSC.Marc 有限元软件二次开发	第25-29页
·编程语言及子程序介绍	第26-28页
·公共块使用、调用的原理	第28-29页
·单晶硅各向异性本构关系的建立	第29-32页
·本章小结	第32-34页
第3章 单晶硅纳米压痕试验与仿真	第34-48页
·纳米压痕测试技术概述	第34-36页
·纳米压痕试验研究	第36-38页
·试验仪器及方案	第36-37页
·试验结果分析	第37-38页
·有限元纳米压痕仿真	第38-45页
·单晶硅各向异性有限元模型建立	第38-43页
·有限元仿真结果	第43-45页
·有限元仿真结果与试验对比	第45-46页
·本章小结	第46-48页
第4章 单晶硅纳米压痕仿真结果分析	第48-62页
·纳米压痕仿真结果分析	第48-57页
·压痕过程中单晶硅相变情况分析	第48-54页
·不同晶面对纳米压痕载荷‐压深曲线和相变的影响	第54-57页
·单晶硅薄膜纳米压痕仿真分析	第57-60页
·单晶硅薄膜纳米压痕仿真条件	第57-58页
·单晶硅薄膜纳米压痕仿真结果分析	第58-60页
·本章小结	第60-62页
第5章 总结与展望	第62-64页
参考文献	第64-68页
作者简介及攻读硕士学位取得的科研成果	第68-70页
致谢	第70页