| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 序言 | 第10-20页 |
| ·等离子体概述 | 第10-13页 |
| ·等离子体概念 | 第10-11页 |
| ·等离子体的分类 | 第11-12页 |
| ·等离子体的应用 | 第12-13页 |
| ·等离子体生成方法 | 第13-19页 |
| ·直流辉光放电 | 第13-14页 |
| ·容性耦合等离子体放电（CCP） | 第14-16页 |
| ·电感耦合等离子体放电（ICP） | 第16-18页 |
| ·电子回旋共振等离子体（ECR） | 第18-19页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 容性耦合等离子体实验装置及诊断方法 | 第20-27页 |
| ·容性耦合等离子体实验装置 | 第20-21页 |
| ·微波共振探针诊断技术及发射光谱仪 | 第21-27页 |
| ·微波共振探针诊断技术 | 第21-24页 |
| ·发射光谱仪 | 第24-27页 |
| 第三章 电负性容性耦合等离子体电子密度的测量 | 第27-50页 |
| ·微波共振探针与朗缪尔双探针对 Ar 等离子体诊断结果比较 | 第28-29页 |
| ·微波共振探针对 Ar 与 SF_6混合气体等离子体电子密度测量 | 第29-33页 |
| ·微波共振探针对 Ar 与 Cl_2混合气体等离子体电子密度测量 | 第33-37页 |
| ·微波共振探针对 Ar 与 O_2混合气体等离子体电子密度测量 | 第37-41页 |
| ·NF_3容性耦合等离子体电子密度测量及光谱强度测量 | 第41-50页 |
| 第四章 等离子体在材料处理中的应用 | 第50-64页 |
| ·等离子体对锂离子电池片剖面极刺处理的应用 | 第50-55页 |
| ·等离子体处理 PET 材料改变其表面浸润特性 | 第55-64页 |
| ·O_2等离子体处理对 PET 表面静态接触角的影响 | 第56-60页 |
| ·C_4F_8等离子体氟化对 PET 表面静态接触角的影响 | 第60-62页 |
| ·全氟化对 PET 表面静态接触角的影响 | 第62-64页 |
| 第五章 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士期间公开发表的论文和专利 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
