大气压微细冷等离子体射流特性及其无掩膜刻蚀研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-21页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·研究背景和研究意义 | 第9-10页 |
| ·大气压冷等离子体射流研究现状 | 第10-17页 |
| ·直流电源型 | 第10-12页 |
| ·交流电源型 | 第12-15页 |
| ·射频电源型 | 第15-16页 |
| ·脉冲直流电源型 | 第16-17页 |
| ·大气压冷等离子体刻蚀研究现状 | 第17-19页 |
| ·大气压射频冷等离子体刻蚀 | 第17-19页 |
| ·大气压电晕放电及冷等离子体炬刻蚀 | 第19页 |
| ·日前存在的主要问题 | 第19-20页 |
| ·研究目标和主要内容 | 第20-21页 |
| 2 等离子体发生原理及装置 | 第21-31页 |
| ·气体放电 | 第21-23页 |
| ·等离子体 | 第23-24页 |
| ·大气压冷等离子体发生机理 | 第24-28页 |
| ·电晕放电 | 第24-26页 |
| ·介质阻挡放电 | 第26-28页 |
| ·大气压微细冷等离子体射流发生装置 | 第28-30页 |
| ·总体设计 | 第28-29页 |
| ·电源系统 | 第29页 |
| ·工作气体及供气系统 | 第29页 |
| ·射流源设计 | 第29-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 裸电极大气压微细冷等离子体射流特性 | 第31-46页 |
| ·针-筒式裸电极冷等离子体射流 | 第31-39页 |
| ·射流发生装置 | 第31-32页 |
| ·驱动电源 | 第32-35页 |
| ·射流特性 | 第35-39页 |
| ·毛细管针-孔式裸电极冷等离子体射流 | 第39-44页 |
| ·射流发生装置 | 第40-42页 |
| ·射流特性 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 4 介质阻挡大气压微细冷等离子体射流特性 | 第46-57页 |
| ·毛细管针-环式介质阻挡冷等离子体射流 | 第46-52页 |
| ·射流发生装置 | 第46-47页 |
| ·射流特性 | 第47-52页 |
| ·针-环式介质阻挡冷等离子体射流 | 第52-56页 |
| ·射流发生装置 | 第52-53页 |
| ·射流特性 | 第53-56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 5 大气压微细冷等离子体射流无掩膜刻蚀SiC | 第57-65页 |
| ·SiC等离子体干法刻蚀机理 | 第57-59页 |
| ·SiC及其刻蚀方法 | 第57页 |
| ·等离子体刻蚀SiC机理 | 第57-59页 |
| ·无掩膜刻蚀装置 | 第59-61页 |
| ·刻蚀试验平台 | 第59-60页 |
| ·刻蚀气体 | 第60页 |
| ·刻蚀工艺流程 | 第60-61页 |
| ·检测方法 | 第61页 |
| ·刻蚀结果分析与讨论 | 第61-64页 |
| ·小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
