| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·无铅铁电薄膜的研究现状 | 第9-11页 |
| ·钽酸锶铋基铁电薄膜 | 第9-10页 |
| ·钛酸铋基铁电薄膜 | 第10-11页 |
| ·钛酸锶钡基铁电薄膜 | 第11页 |
| ·二钛酸钡(BaTi_2O_5)的研究现状 | 第11-21页 |
| ·BaTi_2O_5的晶体结构 | 第11-13页 |
| ·BaTi_2O_5的介电和铁电性能 | 第13-16页 |
| ·BaTi_2O_5铁电体的研究进展 | 第16-20页 |
| ·元素掺杂对BaTi_2O_5的结构和性能的影响 | 第20-21页 |
| ·本论文工作的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验与测试 | 第22-30页 |
| ·实验原料与设备 | 第22页 |
| ·实验设计与工艺过程 | 第22-27页 |
| ·前驱体溶液配制过程 | 第22-23页 |
| ·基片准备过程 | 第23-24页 |
| ·薄膜制备过程 | 第24-25页 |
| ·粉体煅烧/薄膜退火处理过程 | 第25-26页 |
| ·上电极制备过程 | 第26-27页 |
| ·测试与表征 | 第27-30页 |
| ·X射线衍射分析(XRD) | 第27页 |
| ·扫描电子显微镜分析(SEM) | 第27页 |
| ·介电性能 | 第27-28页 |
| ·铁电性能 | 第28-30页 |
| 第3章 Sol-Gel法制备BaTi_2O_5铁电薄膜 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-38页 |
| ·BZT粉末的合成 | 第30-33页 |
| ·BaTi_2O_5薄膜的制备 | 第33-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 Zr掺杂对BaTi_2O_5薄膜结构和性能的影响 | 第40-49页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·BZT薄膜的制备 | 第40-41页 |
| ·BZT薄膜和金电极的制备 | 第40-41页 |
| ·Zr含量对BaTi_2O_5薄膜结构和性能的影响 | 第41-48页 |
| ·物相组成分析 | 第41-43页 |
| ·微观形貌分析 | 第43-45页 |
| ·介电性能分析 | 第45-47页 |
| ·铁电性能分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 BZT成分梯度薄膜的制备与性能表征 | 第49-56页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·BZT梯度薄膜的制备 | 第49-50页 |
| ·BZT梯度薄膜和金电极的制备 | 第49-50页 |
| ·结论与分析 | 第50-55页 |
| ·物相组成分析 | 第50-51页 |
| ·微观形貌分析 | 第51-52页 |
| ·介电性能分析 | 第52-53页 |
| ·铁电性能分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第6章 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 硕士期间发表论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
