| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·溅射靶材综述 | 第11-14页 |
| ·溅射法制备薄膜的基本原理 | 第11页 |
| ·溅射靶材的分类和应用 | 第11-12页 |
| ·溅射靶材的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·溅射靶材的性能要求 | 第13-14页 |
| ·铝合金靶材铸锭的反偏析 | 第14-20页 |
| ·铝合金靶材的应用 | 第14页 |
| ·铝合金靶材的铸造 | 第14-16页 |
| ·铝合金铸锭的反偏析 | 第16-18页 |
| ·铸锭反偏析的形成原因 | 第18-19页 |
| ·铸锭反偏析的抑制 | 第19-20页 |
| ·铝合金铸锭质量的检测(反偏析程度) | 第20页 |
| ·基于ANSYS软件平台模拟铸锭凝固过程的温度场变化 | 第20-22页 |
| ·ANSYS有限元分析软件简介 | 第21页 |
| ·ANSYS有限元模拟分析流程 | 第21-22页 |
| ·课题选择的目的和意义 | 第22-24页 |
| 2 实验材料、设备及方案 | 第24-29页 |
| ·实验材料 | 第24页 |
| ·实验设备 | 第24-26页 |
| ·实验方案 | 第26-29页 |
| ·铸锭的后续处理减小反偏析的程度 | 第26页 |
| ·浇注温度和模具材料对铸锭反偏析程度的影响 | 第26-27页 |
| ·凝固速度对铸锭反偏析的影响 | 第27页 |
| ·凝固温度场的模拟 | 第27-28页 |
| ·大尺寸铸锭冷却速度对铸锭反偏析程度的影响 | 第28-29页 |
| 3 均匀化退火对高纯AlSi1铸锭反偏析的影响 | 第29-34页 |
| ·AlSi1铸锭的均匀化退火 | 第29-30页 |
| ·铸锭均匀化退火效果的检测 | 第30-32页 |
| ·ICP-OES成分检测 | 第30-31页 |
| ·显微组织观察 | 第31-32页 |
| ·结果分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 铸造温度和模具材料对铸锭反偏析的影响 | 第34-39页 |
| ·石墨模和铜模在不同铸造温度下的铸造 | 第34-35页 |
| ·Si含量的反偏析程度分析 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 凝固速度对铸锭反偏析程度的影响 | 第39-43页 |
| ·慢冷凝固实验 | 第39-40页 |
| ·慢冷凝固铸锭分析 | 第40-41页 |
| ·Φ80mm水冷铜模实验 | 第41页 |
| ·水冷铜模铸锭分析 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 6 Φ150mm大尺寸铸锭反偏析的研究 | 第43-64页 |
| ·铸锭凝固温度场的数值模拟 | 第43-53页 |
| ·ANSYS有限元模拟原型及材料物理性能 | 第43-44页 |
| ·实体建模 | 第44-45页 |
| ·载荷加载及求解 | 第45-46页 |
| ·石墨模铸锭的凝固温度场 | 第46-49页 |
| ·水冷铜模铸锭的凝固温度场 | 第49-52页 |
| ·ANSYS温度场模拟结果分析 | 第52-53页 |
| ·凝固速度对铸锭反偏析程度的影响(Φ150mm铸锭) | 第53-58页 |
| ·150mm直径铸锭的铸造实验 | 第53-54页 |
| ·两组模具铸锭的成分分析 | 第54-55页 |
| ·凝固过程中的温度曲线分析 | 第55-58页 |
| ·ANSYS温度场模拟结果的验证 | 第58-63页 |
| ·石墨模铸锭的温度曲线对比 | 第59-61页 |
| ·水冷铜模铸锭的温度曲线对比 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |