| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·氧化锌的基本性质 | 第9-11页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第10-11页 |
| ·ZnO 的电学性质和光学特性 | 第11页 |
| ·ZnO 的能带结构 | 第11页 |
| ·ZnO 的应用 | 第11-12页 |
| ·透明导电薄膜 | 第11页 |
| ·发光器件 | 第11页 |
| ·紫外探测管 | 第11-12页 |
| ·AZO/Cu/AZO 多层透明导电薄膜的研究 | 第12页 |
| ·TCO 薄膜的种类 | 第12页 |
| ·AZO/Cu/AZO 多层透明导电薄膜的用途 | 第12页 |
| ·本文主要研究目的和内容 | 第12-13页 |
| 第二章 透明导电薄膜的制备和表征手段 | 第13-20页 |
| ·主要制备技术 | 第13-17页 |
| ·磁控溅射技术 | 第13-15页 |
| ·真空蒸发技术 | 第15-16页 |
| ·PLD 技术 | 第16页 |
| ·溶胶凝胶技术 | 第16-17页 |
| ·主要表征方法 | 第17-20页 |
| ·表面轮廓仪 | 第17页 |
| ·分光光度计 | 第17-18页 |
| ·X 射线衍射仪 | 第18页 |
| ·四探针方阻仪 | 第18-19页 |
| ·霍尔测试仪 | 第19-20页 |
| 第三章 单层 AZO 薄膜测试结果与讨论 | 第20-29页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·实验参数 | 第20-21页 |
| ·实验参数对单层 AZO 薄膜性能的影响 | 第21-27页 |
| ·衬底温度对单层 AZO 薄膜薄膜性能的影响 | 第21-24页 |
| ·偏压对 AZO 薄膜性能的影响 | 第24-27页 |
| ·后续退火对单层 AZO 薄膜性能的影响 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第四章 AZO/Cu/AZO 多层透明导电薄膜测试结果与讨论 | 第29-40页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·实验参数 | 第29-30页 |
| ·溅射功率对 AZO/Cu/AZO 多层透明导电薄膜光电性能的影响 | 第30-35页 |
| ·溅射功率对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜的光学性能分析 | 第30-31页 |
| ·溅射功率对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜的结晶性能的影响 | 第31-33页 |
| ·溅射功率对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜的表面形貌影响 | 第33页 |
| ·溅射功率对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜的电学性能的影响 | 第33-35页 |
| ·溅射压强对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜光电性能的影响 | 第35-39页 |
| ·溅射压强对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜光学性能的影响 | 第35-36页 |
| ·溅射压强对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜结晶质量的影响 | 第36-38页 |
| ·溅射压强对 AZO/Cu/AZO 多层薄膜电学性能的影响 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 结论 | 第40-42页 |
| 结束语 | 第42-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 作者在学术期间取得的学术成果 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-49页 |
