| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·摩擦、磨损与润滑 | 第12-18页 |
| ·摩擦学的发展 | 第12-13页 |
| ·摩擦与摩擦理论 | 第13-15页 |
| ·磨损与磨损理论 | 第15-17页 |
| ·润滑与润滑剂 | 第17-18页 |
| ·固体润滑 | 第18-21页 |
| ·固体润滑的定义与分类 | 第18页 |
| ·固体润滑的机理 | 第18-19页 |
| ·固体润滑剂的特性 | 第19-21页 |
| ·固体润滑剂的优缺点 | 第21页 |
| ·M0S_2 薄膜的概述 | 第21-24页 |
| ·M0S_2 的结构与性能 | 第21-23页 |
| ·M0S_2 固体润滑薄膜的研究进展 | 第23-24页 |
| ·类金刚石薄膜的概述 | 第24-27页 |
| ·类金刚石薄膜的结构与性能 | 第24-25页 |
| ·类金刚石薄膜的研究进展 | 第25-27页 |
| ·氮化钛薄膜的概述 | 第27-28页 |
| ·氮化钛薄膜的结构与性能 | 第27页 |
| ·氮化钛薄膜的研究进展 | 第27-28页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 M0S_2基复合薄膜的制备原理与工艺 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第30-33页 |
| ·磁控溅射原理 | 第30-32页 |
| ·反应溅射原理 | 第32-33页 |
| ·M0S_2 基复合薄膜的制备 | 第33-36页 |
| ·磁控溅射设备 | 第33-34页 |
| ·实验方案 | 第34-35页 |
| ·实验材料 | 第35页 |
| ·薄膜制备流程 | 第35-36页 |
| ·溅射工艺参数 | 第36-39页 |
| ·M0S_2-Ti-WS_2 复合薄膜工艺参数 | 第36-37页 |
| ·M0S_2-Ti-C 复合薄膜工艺参数 | 第37-38页 |
| ·M0S_2-TiN 复合薄膜工艺参数 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 M0S_2-Ti-WS_2复合薄膜的结构与性能 | 第40-56页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·薄膜的表征及分析 | 第40-44页 |
| ·EDS 分析 | 第40-41页 |
| ·XRD 分析 | 第41-42页 |
| ·SEM 分析 | 第42-44页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第44-54页 |
| ·薄膜的硬度测试 | 第44-45页 |
| ·薄膜的摩擦系数测试 | 第45-53页 |
| ·薄膜的磨损性能测试 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 M0S_2-Ti-C、M0S_2-TiN 复合薄膜的结构与性能 | 第56-74页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·反应磁控溅射制备M0S_2-Ti-C 薄膜 | 第56-64页 |
| ·M0S_2-Ti-C 薄膜的表征及分析 | 第56-59页 |
| ·M0S_2-Ti-C 薄膜的性能测试 | 第59-64页 |
| ·反应磁控溅射制备M0S_2-TiN 薄膜 | 第64-72页 |
| ·M0S_2-TiN 薄膜的表征及分析 | 第64-67页 |
| ·M0S_2-TiN 薄膜的性能测试 | 第67-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士研究生期间发表的论文及申请的专利 | 第83页 |