高温条件下MEMS微构件动态特性测试技术研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
1 绪论	第9-18页
·课题研究背景	第9-10页
·MEMS微构件的动态测试	第10-17页
·MEMS微构件动态特性测试的激励技术方法	第10-13页
·MEMS构件动态特性测试高温环境	第13-14页
·MEMS构件动态特性测试方法	第14-17页
·本文主要研究内容及意义	第17-18页
2 测试装置设计	第18-29页
·测试装置技术方案	第18-19页
·测试装置硬件构成	第19-28页
·压电陶瓷激励方式及特性	第19-21页
·高温环境的产生	第21-23页
·高温环境微构件激励装置	第23-26页
·电气系统	第26-27页
·微构件激励响应信号的检测	第27-28页
·本章小结	第28-29页
3 测试装置温度控制	第29-50页
·虚拟仪器技术	第29-30页
·LabVIEW编程语言	第30-31页
·软件系统组成	第31-32页
·前面板设计	第32-34页
·功能模块设计实现	第34-49页
·数据采集	第34-35页
·数字滤波	第35-37页
·控制算法程序设计	第37-44页
·PWM信号输出	第44-49页
·本章小结	第49-50页
4 MEMS微构件动态测试实验	第50-56页
·压阻式微悬臂梁动态测试实验	第50-52页
·激光多普勒测振仪动态测试实验	第52-55页
·本章小结	第55-56页
结论	第56-57页
参考文献	第57-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第60-61页
致谢	第61-62页