微半球谐振陀螺的结构设计与工艺研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外微半球谐振陀螺仪研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 国外微半球谐振陀螺仪研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内微半球谐振陀螺仪研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 论文研究内容及意义 | 第15页 |
| 1.4 论文组织结构 | 第15-17页 |
| 第二章 微半球谐振陀螺仪的结构建模分析 | 第17-27页 |
| 2.1 微半球谐振陀螺仪的工作原理 | 第17-18页 |
| 2.2 微半球谐振陀螺仪的数学建模 | 第18-23页 |
| 2.2.1 微半球谐振陀螺仪建模方法 | 第18-19页 |
| 2.2.2 基希霍夫半球谐振子数学模型 | 第19-23页 |
| 2.2.2.1 微半球谐振子的基希霍夫模型 | 第19-21页 |
| 2.2.2.2 微半球谐振子的进动特性 | 第21-23页 |
| 2.3 微半球谐振陀螺仪的模态匹配与频率裂解 | 第23-26页 |
| 2.3.1 微半球谐振陀螺仪的模态匹配 | 第23页 |
| 2.3.2 密度不均匀引起的频率裂解 | 第23-24页 |
| 2.3.3 弹性模量不均匀引起的频率裂解 | 第24-25页 |
| 2.3.4 谐振子半径不均匀引起的频率裂解 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 微半球谐振陀螺仪能量损耗 | 第27-49页 |
| 3.1 品质因数 | 第27页 |
| 3.2 热弹性阻尼 | 第27-39页 |
| 3.2.1 热弹性阻尼的数学模型 | 第28-33页 |
| 3.2.2 热弹性阻尼的有限元仿真 | 第33-39页 |
| 3.2.3 热弹性阻尼的结果讨论 | 第39页 |
| 3.3 支撑损耗 | 第39-44页 |
| 3.3.1 支撑损耗的研究 | 第39-41页 |
| 3.3.2 支撑损耗的有限元仿真 | 第41-43页 |
| 3.3.2.1 微半球对支撑损耗的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.2.2 支撑柱对支撑损耗的影响 | 第43页 |
| 3.3.3 支撑损耗的结果讨论 | 第43-44页 |
| 3.4 压膜阻尼 | 第44-45页 |
| 3.5 表面损耗 | 第45-46页 |
| 3.6 各种耗散分析结果总结 | 第46页 |
| 3.7 本章小结 | 第46-49页 |
| 第四章 微半球谐振陀螺仪的结构设计 | 第49-57页 |
| 4.1 微半球谐振陀螺仪球壳结构的设计 | 第49-51页 |
| 4.2 微半球谐振陀螺仪的加工误差 | 第51-52页 |
| 4.2.1 微半球壳材料的密度误差 | 第51-52页 |
| 4.2.2 微半球内外表面的不同心 | 第52页 |
| 4.3 微半球谐振陀螺仪结构误差分析 | 第52-55页 |
| 4.4 微半球谐振陀螺仪结构设计总结 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 微半球谐振陀螺仪加工工艺研究 | 第57-69页 |
| 5.1 微半球谐振陀螺仪的加工工艺 | 第57-63页 |
| 5.1.1 微半球谐振器的加工工艺介绍 | 第57-58页 |
| 5.1.2 微半球模子的加工工艺 | 第58-61页 |
| 5.1.2.1 微半球模子的加工工艺介绍 | 第58-59页 |
| 5.1.2.2 HNA溶液湿法腐蚀半球模子 | 第59-61页 |
| 5.1.2.3 SF_6等离子体干法刻蚀半球模子 | 第61页 |
| 5.1.3 微半球薄膜的沉积 | 第61-62页 |
| 5.1.4 微半球谐振陀螺仪的真空封装 | 第62-63页 |
| 5.2 微半球谐振陀螺仪加工工艺设计 | 第63-66页 |
| 5.3 本章小结 | 第66-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 总结 | 第69-70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 作者简介 | 第79页 |
