多组元氮梯度硬质反应膜的制备与性能研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-20页 |
| ·氮化物硬质反应膜的研究现状与发展趋势 | 第12-16页 |
| ·二元氮化物膜 | 第12-13页 |
| ·多元氮化物膜 | 第13-14页 |
| ·多元多层氮化物膜 | 第14-15页 |
| ·多元梯度氮化物膜 | 第15-16页 |
| ·多弧离子镀技术与特点 | 第16-17页 |
| ·多弧离子镀技术概述 | 第16页 |
| ·多弧离子镀膜技术特点 | 第16-17页 |
| ·本文研究意义及内容 | 第17-20页 |
| 2 试验材料及研究方法 | 第20-28页 |
| ·沉积设备简介 | 第20-21页 |
| ·试验基体材料的选取与制备 | 第21页 |
| ·薄膜沉积过程工艺参数 | 第21-24页 |
| ·基体负偏压 | 第21-22页 |
| ·靶材电流强度 | 第22-23页 |
| ·本底真空度 | 第23页 |
| ·反应气体分压 | 第23-24页 |
| ·试样温度 | 第24页 |
| ·传动电压 | 第24页 |
| ·沉积时间 | 第24页 |
| ·薄膜制备工艺参数确定 | 第24-25页 |
| ·薄膜分析测试方法 | 第25-28页 |
| ·薄膜组织结构与成分的分析 | 第25-26页 |
| ·薄膜性能的分析 | 第26-28页 |
| 3 薄膜显微组织及相结构研究 | 第28-38页 |
| ·膜层表面形貌分析 | 第28-29页 |
| ·膜层断面组织形貌分析 | 第29-31页 |
| ·膜层表面成分分析 | 第31-32页 |
| ·膜层断面成分分析 | 第32-34页 |
| ·膜层相结构分析 | 第34-37页 |
| ·偏压对膜层相结构的影响 | 第34-36页 |
| ·元素对膜层相结构的影响 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 4 薄膜性能研究 | 第38-62页 |
| ·膜层显微硬度分析 | 第38-39页 |
| ·膜层膜/基附着力分析 | 第39-40页 |
| ·膜层抗热震性能分析 | 第40-44页 |
| ·热震实验结果 | 第40-41页 |
| ·膜层抗热震性能讨论 | 第41-44页 |
| ·膜层摩擦磨损性能分析 | 第44-60页 |
| ·载荷对膜层摩擦磨损性能的影响 | 第45-47页 |
| ·沉积工艺对膜层摩擦磨损性能的影响 | 第47-50页 |
| ·温度对膜层摩擦磨损性能的影响 | 第50-54页 |
| ·频率对膜层摩擦磨损性能的影响 | 第54-60页 |
| ·膜层摩擦磨损机理讨论 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 5 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 在学期间研究成果 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
