真空玻璃的阳极键合密封技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题背景及意义 | 第10-11页 |
| ·真空玻璃的研究进展 | 第11-14页 |
| ·阳极键合封装技术的研究进展 | 第14-17页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 真空玻璃热传递的优化分析 | 第19-27页 |
| ·真空玻璃与中空玻璃的传热机理 | 第19-20页 |
| ·玻璃腔体内的气体热导 | 第20-21页 |
| ·玻璃表面之间的辐射热导 | 第21-22页 |
| ·玻璃之间的支撑物的热导 | 第22-23页 |
| ·真空玻璃四周封边的传热影响 | 第23-25页 |
| ·真空玻璃整个单元的传热系数 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 实验材料、装置及实验方案 | 第27-35页 |
| ·实验材料 | 第27页 |
| ·实验装置及实验过程 | 第27-31页 |
| ·大气中的实验装置 | 第28-29页 |
| ·真空中的实验装置 | 第29-31页 |
| ·分析及测试方法 | 第31-35页 |
| ·泄漏率检测 | 第31-32页 |
| ·超声波检测 | 第32-33页 |
| ·力学性能检测 | 第33-34页 |
| ·扫描电镜和能谱分析（SEM and EDS） | 第34-35页 |
| 第4章 真空玻璃阳极键合的实验结果分析 | 第35-60页 |
| ·标准大气环境下的阳极键合 | 第35-39页 |
| ·铝与玻璃的实验结果分析 | 第35-36页 |
| ·Sn-3.5Ag 合金与玻璃的实验结果分析 | 第36-39页 |
| ·真空环境下的阳极键合 | 第39-59页 |
| ·铝与玻璃的实验结果分析 | 第39-48页 |
| ·Sn-Ag 基合金与玻璃的实验结果分析 | 第48-51页 |
| ·Sn-0.5Al 合金与玻璃的实验结果分析 | 第51-56页 |
| ·焊料浇注方案 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 阳极键合的电场力分析和计算 | 第60-66页 |
| ·电场作用下玻璃介质材料的极化 | 第60-62页 |
| ·结合界面间电场力的计算 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 个人简历 | 第74页 |
