| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 概述 | 第12-26页 |
| ·微波调谐器件用材料的研究背景 | 第12-16页 |
| ·微波调谐器件的应用 | 第12-14页 |
| ·微波调谐器件用材料的研究现状 | 第14-16页 |
| ·微波调谐器件用材料的性能要求 | 第16-17页 |
| ·BST材料的结构与性能 | 第17-19页 |
| ·BST薄膜的研究概况 | 第19-24页 |
| ·BST薄膜的掺杂改性 | 第20-22页 |
| ·BST多层薄膜 | 第22-23页 |
| ·电极材料对BST结构与性能的影响 | 第23-24页 |
| ·论文选题及研究方案 | 第24-26页 |
| 第二章 BST薄膜的制备与表征 | 第26-39页 |
| ·BST薄膜制作工艺 | 第26-28页 |
| ·脉冲激光沉积及其系统简介 | 第28-31页 |
| ·薄膜微观结构的表征 | 第31-35页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| ·反射高能电子衍射(RHEED) | 第32-33页 |
| ·形貌分析 | 第33-35页 |
| ·薄膜的电学性能表征 | 第35-39页 |
| ·电容器结构的选择 | 第35-37页 |
| ·BST薄膜的介电性能的测量 | 第37-38页 |
| ·BST薄膜的绝缘性能表征 | 第38-39页 |
| 第三章 PLD制备BST薄膜 | 第39-53页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第39-48页 |
| ·沉积温度对BST薄膜的影响 | 第40-43页 |
| ·氧分压对BST薄膜的影响 | 第43-46页 |
| ·激光能量对BST薄膜的影响 | 第46-48页 |
| ·优化条件下BST薄膜的结构 | 第48-52页 |
| ·薄膜的XRD分析 | 第48-49页 |
| ·薄膜的XPS分析 | 第49-51页 |
| ·BST薄膜断面的SEM分析 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-53页 |
| 第四章 氧化物电极界面对BST薄膜结构与性能的影响 | 第53-77页 |
| ·BST电容的漏电机制 | 第53-59页 |
| ·电极限制型电流机理 | 第54-56页 |
| ·体限制型电流机理 | 第56-59页 |
| ·LSCO电极材料对BST电学性能的影响 | 第59-66页 |
| ·薄膜制备 | 第60-62页 |
| ·微结构特征 | 第62-63页 |
| ·电学性能 | 第63-66页 |
| ·氧化物电极界面调制BST薄膜电学性能 | 第66-67页 |
| ·底电极的制备 | 第66-67页 |
| ·BST薄膜的制备 | 第67页 |
| ·BST/LSCO/LAO、BST/SRO/MGO异质结的结构特征 | 第67-72页 |
| ·LSCO/LAO、SRO/MgO异质结微结构特征 | 第67-69页 |
| ·BST/LSCO/LAO、BST/SRO/MgO异质结微结构特征 | 第69-72页 |
| ·BST/LSCO/LAO、BST/SRO/MGO异质结的电学性质 | 第72-75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 第五章 稀土Y掺杂对BST薄膜电学性能的影响 | 第77-84页 |
| ·Y-BST薄膜的制备 | 第77页 |
| ·Y-BST薄膜的结构 | 第77-80页 |
| ·Y-BST薄膜的介电性能 | 第80-82页 |
| ·Y-BST薄膜的绝缘性能 | 第82-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 第六章 BTO基铁电多层薄膜的研究 | 第84-103页 |
| ·多层薄膜介电增强的MAXWELL-WAGNER模型 | 第84-88页 |
| ·BST/BZT/BST多层薄膜的原位生长研究 | 第88-94页 |
| ·RHEED与生长模式 | 第89-90页 |
| ·BST/BZT/BST多层薄膜的原位生长监测 | 第90-94页 |
| ·PLD制备BST/BZT/BST多层薄膜 | 第94页 |
| ·薄膜的微结构表征 | 第94-96页 |
| ·薄膜的电学性能 | 第96-101页 |
| ·薄膜的介电性能 | 第96-100页 |
| ·薄膜的绝缘性能 | 第100-101页 |
| ·小结 | 第101-103页 |
| 第七章 主要结论 | 第103-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-117页 |
| 攻读博士期间取得的成果 | 第117-120页 |
| 作者简介 | 第120页 |
