基于白光干涉技术的膜材料应变行为测试方法研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-18页
·课题背景	第9-11页
·微机电系统力学特性测试技术的研究现状	第11-15页
·MEMS微系统中的力学问题及研究意义	第15-16页
·本论文的研究工作	第16-18页
第二章 干涉测量技术理论原理	第18-22页
·光干涉的基本理论	第18-19页
·白光干涉形貌测试技术	第19-20页
·移相干涉（PSI）原理	第20-21页
·本章小结	第21-22页
第三章 应变测试三维形貌算法理论及界面设计	第22-32页
·传统三维形貌还原算法分析	第22-24页
·垂直扫描干涉三维形貌算法（VSI）分析	第22-23页
·移相干涉三维形貌算法（PSI）分析	第23-24页
·应变测试算法分析	第24-26页
·VSI和PSI的组合算法原理	第24-25页
·SEST算法原理	第25-26页
·白光干涉应变测试算法的提出及研究	第26-28页
·应变测试界面设计	第28-30页
·本章小结	第30-32页
第四章 白光干涉 PZT 应变测试	第32-49页
·应变数学模型的建立及薄膜结构设计	第32页
·微系统测试分析仪应变测试	第32-40页
·Linnik干涉仪应变测试	第40-48页
·白光干涉应变算法的验证	第41-43页
·Linnik干涉仪应变测试	第43-48页
·本章小结	第48-49页
第五章 总结与展望	第49-51页
·全文总结	第49页
·展望	第49-51页
附录	第51-68页
参考文献	第68-73页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第73-74页
致谢	第74页