| 内容提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-24页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第8-13页 |
| ·光纤加速度计的类型 | 第13-22页 |
| ·本论文的研究意义及主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微加速度计的结构设计 | 第24-36页 |
| ·微加速度计的基本原理 | 第24-26页 |
| ·支撑梁的设计 | 第26-29页 |
| ·光纤槽的设计 | 第29-30页 |
| ·削角补偿 | 第30-34页 |
| ·整体结构初步设计 | 第34-36页 |
| 第三章 微加速度计的有限元结构分析 | 第36-49页 |
| ·ANSYS 概述 | 第36-37页 |
| ·结构静力分析的有限元基础理论 | 第37-40页 |
| ·结构优化分析 | 第40-43页 |
| ·模态分析 | 第43-47页 |
| ·性能分析 | 第47-49页 |
| 第四章 微加速度计的制作工艺研究 | 第49-60页 |
| ·体硅微加工工艺 | 第49-56页 |
| ·微加速度计的制作工艺流程 | 第56-59页 |
| ·削角补偿结果 | 第59-60页 |
| 第五章 总结语 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60-61页 |
| ·下一步将开展的工作 | 第61-62页 |
| 附录 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 摘要 | 第69-71页 |
| ABSTRACT | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |