微硅陀螺检子系统集成电路的研究与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·微硅陀螺仪的研究与发展意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第9-10页 |
| ·国外研究现状及分析 | 第9-10页 |
| ·国内研究现状及分析 | 第10页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第10-11页 |
| ·本文研究的主要内容与安排 | 第11-12页 |
| ·主要研究内容 | 第11页 |
| ·论文内容安排 | 第11-12页 |
| 第二章 微弱信号检测理论与技术 | 第12-22页 |
| ·噪声 | 第12-15页 |
| ·噪声的统计特性 | 第12-14页 |
| ·白噪声 | 第14-15页 |
| ·相关检测技术 | 第15-18页 |
| ·相关原理与相关函数 | 第15-16页 |
| ·相关接收技术 | 第16-18页 |
| ·锁定接收法 | 第18页 |
| ·锁定放大器 | 第18-21页 |
| ·锁定放大器工作原理 | 第19-20页 |
| ·锁定放大器结构 | 第20-21页 |
| ·锁定放大器中的信号相关原理 | 第21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第三章 微硅陀螺仪传感器结构及检测原理分析 | 第22-33页 |
| ·音叉电容式微硅陀螺仪的工作原理 | 第22-28页 |
| ·振动式陀螺仪 | 第22-23页 |
| ·音叉式振动陀螺仪 | 第23-24页 |
| ·差动电容式陀螺仪的实现原理 | 第24-28页 |
| ·几种常见的微小电容检测方法 | 第28-31页 |
| ·采用开关电容电路的微电容测量 | 第28-29页 |
| ·基于电容充/放电原理的微电容测量 | 第29-30页 |
| ·电荷放大器电容检测方案 | 第30-31页 |
| ·音叉电容式微机械陀螺接口电路的研究 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第四章 微硅陀螺仪检测系统设计 | 第33-64页 |
| ·检测系统设计方案 | 第33-34页 |
| ·差分电容检测 | 第34-36页 |
| ·电荷放大器工作原理 | 第34-35页 |
| ·差分电容检测原理 | 第35-36页 |
| ·低噪声、高增益电荷放大器设计 | 第36-50页 |
| ·差分输入级 | 第37-38页 |
| ·中间放大级 | 第38-39页 |
| ·输出级 | 第39-41页 |
| ·电路的频率响应和相位补偿 | 第41-43页 |
| ·噪声分析 | 第43-49页 |
| ·仿真与分析 | 第49-50页 |
| ·带通滤波器的设计 | 第50-53页 |
| ·频率响应 | 第50-52页 |
| ·仿真与分析 | 第52-53页 |
| ·相关器的设计 | 第53-59页 |
| ·开关式乘法器 | 第53-55页 |
| ·低通滤波器 | 第55-56页 |
| ·相敏检波的信号频谱迁移与窄带滤波抑制噪声 | 第56-59页 |
| ·检测系统的总体设计 | 第59-61页 |
| ·微硅陀螺检测系统模拟仿真验证 | 第61-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第五章 版图设计与验证 | 第64-73页 |
| ·工艺分析 | 第64-66页 |
| ·版图的设计流程 | 第66-68页 |
| ·版图中提高电路性能的设计 | 第68-71页 |
| ·MOS管的匹配设计 | 第68-70页 |
| ·版图中减小噪声的设计 | 第70页 |
| ·预防闩锁效应(Latch-up)的设计 | 第70-71页 |
| ·版图的DRACULA验证 | 第71-72页 |
| ·设计规则检查（DRC） | 第71-72页 |
| ·版图与电路图一致性检查（LVS） | 第72页 |
| ·版图验证文件的编写 | 第72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第六章 结束语 | 第73-74页 |
| ·论文工作总结 | 第73页 |
| ·进一步工作的建议 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 研究成果 | 第78页 |
