| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·聚酰亚胺的合成方法 | 第11-14页 |
| ·感光聚酰亚胺的研究概况 | 第14-16页 |
| ·负性感光聚酰亚胺 | 第16-19页 |
| ·正性感光聚酰亚胺 | 第19-23页 |
| ·化学增幅型PSPI | 第23-24页 |
| ·PSPI 的应用 | 第24-25页 |
| ·论文的研究目的和主要内容 | 第25-27页 |
| 第二章 正性和负性聚酰亚胺材料的制备和性能研究 | 第27-42页 |
| ·引言 | 第27-28页 |
| ·实验 | 第28-31页 |
| ·光敏性及光刻性能 | 第31-32页 |
| ·结果与讨论 | 第32-41页 |
| ·结论 | 第41-42页 |
| 第三章 自感光光敏聚酰亚胺的制备和性能研究 | 第42-56页 |
| ·引言 | 第42-43页 |
| ·实验 | 第43-45页 |
| ·光敏性及光刻性能 | 第45-46页 |
| ·结果和讨论 | 第46-53页 |
| ·物理混合性自感光聚酰亚胺的制备和光刻性能 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第四章 总结 | 第56-57页 |
| 第五章 参考文献 | 第57-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第61页 |