| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·微光机械振动传感器 | 第12-15页 |
| ·光纤式微振动传感器 | 第13-14页 |
| ·集成光波导微振动传感器 | 第14-15页 |
| ·聚合物材料在集成光波导传感器中的应用现状和发展前景 | 第15-16页 |
| ·论文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 微光机械振动传感器的工作原理与结构设计 | 第18-29页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·结构和工作原理 | 第18-19页 |
| ·掩埋矩形波导模式及波导参数设计 | 第19-21页 |
| ·振动敏感元件结构参数设计 | 第21-27页 |
| ·结构参数设计及结构工艺设计 | 第21页 |
| ·结构几何参数对传感器性能的影响及参数选取原则 | 第21-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 第三章 微光机械振动传感器芯片的制作工艺研究 | 第29-49页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·振动敏感元件结构工艺设计 | 第29-30页 |
| ·聚合物材料的选择 | 第30页 |
| ·聚合物集成光波导微振动传感器的制作工艺 | 第30-44页 |
| ·聚合物薄膜制备 | 第30-35页 |
| ·刻蚀方法及掩模制备 | 第35-36页 |
| ·光刻 | 第36-41页 |
| ·刻蚀方法的选择和感应耦合等离子体刻蚀 | 第41-43页 |
| ·硅片解理与波导端面处理 | 第43-44页 |
| ·制作工艺流程 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 第四章 传感器测试 | 第49-54页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·光纤与光波导的耦合及波导测试系统 | 第49-51页 |
| ·光波导器件的通光测试 | 第51-53页 |
| ·小结 | 第53-54页 |
| 第五章 工作总结 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 发表论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 个人简历 | 第61-62页 |