基于PZT压电薄膜的微驱动器研究
| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1.绪论 | 第9-18页 |
| ·MEMS微驱动器 | 第9页 |
| ·压电驱动器 | 第9-16页 |
| ·压电双晶片驱动器 | 第10-12页 |
| ·基于MEMS的压电微泵 | 第12-16页 |
| ·本文主要工作 | 第16-18页 |
| 2.水热合成法制备PZT薄膜工艺研究 | 第18-34页 |
| ·PZT薄膜制备方法 | 第18页 |
| ·水热合成法 | 第18-21页 |
| ·水热合成法发展过程 | 第18-20页 |
| ·水热合成法机理 | 第20-21页 |
| ·双步水热合成法制备PZT薄膜工艺研究 | 第21-23页 |
| ·水热合成法制各PZT薄膜原理 | 第21-22页 |
| ·水热合成法工艺过程 | 第22-23页 |
| ·PZT薄膜特性表征 | 第23-30页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第23页 |
| ·PZT薄膜的晶格常数 | 第23-24页 |
| ·表面形貌SEM分析 | 第24-26页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第26-28页 |
| ·PZT薄膜密度计算 | 第28-29页 |
| ·PZT薄膜铁电性分析 | 第29-30页 |
| ·PZT薄膜单步水热法制备工艺研究 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3.PZT压电薄膜双晶片型驱动器制备及性能分析 | 第34-49页 |
| ·压电悬臂梁式双晶片驱动器的结构优化及其制备 | 第34-41页 |
| ·PZT薄膜压电悬臂梁驱动器静力学分析 | 第34-40页 |
| ·PZT薄膜双晶片的制备 | 第40页 |
| ·PZT薄膜微型悬臂结构的动态分析 | 第40-41页 |
| ·PZT压电双晶片压电系数的测量及驱动能力分析 | 第41-48页 |
| ·压电双晶片悬臂梁弯曲振动位移模型 | 第41-44页 |
| ·压电系数d_(31)的测量 | 第44-45页 |
| ·PZT压电双晶片驱动器驱动能力实验分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4.压电无阀微泵样机制备及性能测试 | 第49-64页 |
| ·无阀微泵理论分析 | 第49-53页 |
| ·收缩管/扩张管无阀压电微泵的结构和工作原理 | 第49-50页 |
| ·无阀微泵流量理论分析 | 第50-53页 |
| ·无阀微泵样机制备 | 第53-62页 |
| ·微泵特征尺寸的选择 | 第53页 |
| ·微泵泵体的制备 | 第53-58页 |
| ·微泵泵膜的制备 | 第58-60页 |
| ·无阀微泵的装配 | 第60-62页 |
| ·无阀微泵流量测试 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 附录A 涡流测微计系统测试数据 | 第70-72页 |
| 附录B 激光振动测试系统测试数据 | 第72-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第76页 |
