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MOTOROLA单片机MC68HC(8)05PV8/A内嵌EEPROM的工艺和制程方法及对良率的影响研究

第一章 MOTOROLA 单片机及其内嵌EEPROM 简介第1-22页
 1.1 单片机简介第7-8页
 1.2 我国的MCU 市场走势第8-9页
 1.3 摩托罗拉单片机简介第9-16页
  1.3.1 MOTOROLA 单片机第10-12页
  1.3.2 MC68HC05PV8 及其在汽车中的应用第12-15页
  1.3.3 PV8 在智能玻璃升降器中的应用第15-16页
 1.4 半导体存储器及其失效方式第16-18页
  1.4.1 半导体存储器简介第16页
  1.4.2 半导体存储器失效方式第16-18页
 1.5 EEPROM 简介第18-21页
 1.6 本课题的研究内容与目标第21-22页
第二章 EEPROM 的原理第22-28页
 2.1 Fowler-Nordheim 隧道效应第22-23页
 2.2 FLOTOX 管结构及存储信息原理第23-25页
  2.2.1 FLOTOX 管结构第23-24页
  2.2.2 EEPROM 存储单元的工作原理第24-25页
 2.3 FLOTOX 双管EEPROM 位元电路第25-28页
第三章 含有EEPROM 的产品的老化实验——Burn In第28-35页
 3.1 Burn-In 简介第28-30页
 3.2 PV8 的Burn-In 流程第30页
 3.3 PV8 的典型Burn-In 次品第30-32页
 3.4 目前PV8 产品所存在的一些问题第32-35页
第四章 Burn-In 时间的减少第35-40页
 4.1 产品的失效率第35-36页
 4.2 一般计算早期失效期的方法第36-37页
 4.3 对产品老化实验时间的计算、采样、评估流程第37-39页
 4.4 结论第39-40页
第五章 Burn-In 过程中BIN2/3 次品的减少第40-49页
 5.1 问题的产生第40页
 5.2 老化实验硬件环境简介第40-44页
  5.2.1 状态字节第41-42页
  5.2.2 BULK 擦除第42页
  5.2.3 写入/擦除循环第42-43页
  5.2.4 Burn-In 前EEPROM 的状态第43页
  5.2.5 驱动板和接触检查程序第43页
  5.2.6 Burn-In 电压和频率第43-44页
 5.3 PV8 Burn-In 程序的修改第44-49页
第六章 前道工序对良品率的影响第49-70页
 6.1 EEPROM 阈值电压的变化对其性能的表征第49-53页
  6.1.1 EEPROM 在不同工作状态时阈值电压的变化第49-50页
  6.1.2 EEPROM 在不同使用时期时阈值电压的变化第50-53页
  6.1.3 结论第53页
 6.2 EEPROM 的内在可靠性问题第53-58页
  6.2.1 EEPROM 擦写持久性问题第54页
  6.2.2 EEPROM 数据保持能力第54页
  6.2.3 EEPROM 读出干扰第54-55页
  6.2.4 EEPROM 不稳定的擦除第55-57页
  6.2.5 EEPROM 擦写循环后的数据保持第57页
  6.2.6 实际次品分析第57-58页
 6.3 EEPROM 的击穿问题第58-66页
  6.3.1 实际次品分析第65-66页
 6.4 前道工艺对产品可靠性影响的及改进提高第66-70页
第七章 结论第70-72页
参考文献第72-76页
发表论文和科研情况说明第76-77页
附录第77-85页
致谢第85页

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