| 1 绪论 | 第1-8页 |
| ·课题的研究背景 | 第6-7页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第7-8页 |
| 2 三面互检法 | 第8-29页 |
| ·传统的三面互检法 | 第8-10页 |
| ·Zernike多项式拟合法 | 第10-20页 |
| ·Zernike多项式拟合法的原理 | 第10-16页 |
| ·理论模拟 | 第16-20页 |
| ·奇偶函数法 | 第20-28页 |
| ·奇偶函数法的原理 | 第20-25页 |
| ·理论模拟 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 伪剪切干涉法 | 第29-34页 |
| ·伪剪切法平面绝对检测的原理 | 第29-31页 |
| ·理论模拟 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 实际测量 | 第34-55页 |
| ·实验仪器 | 第34-36页 |
| ·波面位相检测技术 | 第36-38页 |
| ·移相干涉法 | 第36-38页 |
| ·波面位相表示方法 | 第38页 |
| ·实测实验 | 第38-49页 |
| ·在ZYGO干涉仪上进行的传统三面互检法实验 | 第39-40页 |
| ·三面互检中的Zernike多项式拟合实验 | 第40-44页 |
| ·三面互检中的奇偶函数法实验 | 第44-47页 |
| ·伪剪切法绝对检测实验 | 第47-49页 |
| ·与ZYGO干涉仪中的结果的比较 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 误差分析 | 第55-59页 |
| ·原理误差分析 | 第55-56页 |
| ·传统三面互检法 | 第55页 |
| ·Zernike多项式拟合法 | 第55页 |
| ·奇偶函数法 | 第55-56页 |
| ·伪剪切法 | 第56页 |
| ·实验中误差分析 | 第56-58页 |
| ·干涉仪的主要误差源 | 第56-57页 |
| ·环境对实验的干扰 | 第57页 |
| ·实验中的人员操作误差 | 第57-58页 |
| ·三面互检法 | 第57-58页 |
| ·伪剪切法 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 全文总结 | 第59-61页 |
| 1 、 本文所做的工作 | 第59-60页 |
| 2 、 有待解决的问题和前景展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录A Zernike多项式的前36项直角坐标系表达式 | 第65-66页 |
| 附录B Zernike多项式的前36项极坐标系表达式 | 第66页 |