玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 综述 | 第9-28页 |
| ·MEMS及MEMS技术 | 第9-19页 |
| ·MEMS定义 | 第9-11页 |
| ·MEMS加工技术 | 第11-15页 |
| ·MEMS研究应用概况与发展前景 | 第15-17页 |
| ·MEMS在生化医疗领域的应用 | 第17-19页 |
| ·集成毛细管电泳芯片与微型泵 | 第19-25页 |
| ·集成毛细管电泳芯片 | 第19-24页 |
| ·微型泵的研究进展 | 第24-25页 |
| ·课题研究意义与目标 | 第25-28页 |
| ·问题的提出 | 第26页 |
| ·课题研究意义 | 第26-27页 |
| ·课题研究内容与目标的确定 | 第27-28页 |
| 第二章 玻璃湿法刻蚀工艺的研究 | 第28-38页 |
| ·玻璃湿法刻蚀工艺的研究进展 | 第28-29页 |
| ·玻璃湿法刻蚀工艺的实验研究 | 第29-37页 |
| ·实验方案的确定 | 第29-30页 |
| ·实验结果与分析 | 第30-37页 |
| ·玻璃湿法刻蚀工艺的研究结论 | 第37-38页 |
| 第三章 玻璃键合工艺的研究 | 第38-46页 |
| ·玻璃／玻璃直接键合工艺的研究 | 第38-43页 |
| ·硅／硅直接键合 | 第38-40页 |
| ·热键合技术 | 第40-41页 |
| ·玻璃／玻璃键合工艺 | 第41-43页 |
| ·硅／玻璃静电键合工艺的研究 | 第43-45页 |
| ·硅／玻璃静电键合机理的研究 | 第43-45页 |
| ·硅／玻璃静电键合实验的研究 | 第45页 |
| ·玻璃键合工艺的研究结论 | 第45-46页 |
| 第四章 磁流体推进式微型泵的设计研究 | 第46-52页 |
| ·磁流体推进的基本概念 | 第46-48页 |
| ·磁流体推进原理 | 第46页 |
| ·直流磁流体推进数学模型 | 第46-48页 |
| ·磁流体推进微型泵的研究进展 | 第48-49页 |
| ·工作原理与优点 | 第48页 |
| ·研究进展 | 第48-49页 |
| ·磁流体推进式微型泵的设计研究 | 第49-51页 |
| ·结构尺寸设计 | 第49-50页 |
| ·加工方案的确定 | 第50-51页 |
| ·结论 | 第51-52页 |
| 第五章 磁流体推进式微型泵的初步理论研究 | 第52-67页 |
| ·初步理论研究 | 第52-54页 |
| ·理论研究进展 | 第52-53页 |
| ·数学模型的建立 | 第53-54页 |
| ·仿真研究 | 第54-66页 |
| ·几何模型的建立与网格生成 | 第55-56页 |
| ·边界条件的设定与求解 | 第56-58页 |
| ·求解结果 | 第58-65页 |
| ·结论 | 第65-66页 |
| ·理论研究总结 | 第66-67页 |
| 第六章 磁流体推进式微型泵的研制 | 第67-80页 |
| ·第一种试验方案 | 第67-74页 |
| ·样品的加工制作 | 第68-70页 |
| ·性能试验 | 第70-72页 |
| ·结论 | 第72页 |
| ·改进试验 | 第72-74页 |
| ·第二种试验方案 | 第74-77页 |
| ·结构设计及理论验证 | 第74-75页 |
| ·样品的加工制作 | 第75-76页 |
| ·试验部分 | 第76-77页 |
| ·结论 | 第77页 |
| ·第三种试验方案 | 第77-79页 |
| ·样品的加工制作 | 第77-78页 |
| ·试验部分 | 第78页 |
| ·结论 | 第78-79页 |
| ·试验总结 | 第79-80页 |
| 第七章 全文总结与展望 | 第80-82页 |
| ·全文总结 | 第80-81页 |
| ·后期展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
