可变矩形电子束曝光机图形数据转换软件的实用化研制
| 第一章 引言 | 第1-13页 |
| §1．1 电子束曝光技术 | 第7-8页 |
| §1．2 JBX-6AⅡ可变矩形电子束曝光机 | 第8-10页 |
| §1．3 版图数据转换系统及其国内外研究现状 | 第10-12页 |
| §1．4 本课题的研究意义 | 第12-13页 |
| 第二章 系统需求和设计 | 第13-24页 |
| §2．1 系统需求 | 第13-14页 |
| §2．2 系统结构设计 | 第14-15页 |
| §2．3 系统模块设计 | 第15-17页 |
| §2．4 系统流程设计 | 第17-18页 |
| §2．5 系统类设计 | 第18-20页 |
| §2．6 中间多边形临时文件的存储格式 | 第20-22页 |
| §2．7 主场临时文件的存储格式 | 第22-24页 |
| 第三章 算法设计1 | 第24-46页 |
| §3．1 CIF文件的解析 | 第24-37页 |
| §3．1．1 CIF语法 | 第24-25页 |
| §3．1．2 CIF语义 | 第25-29页 |
| §3．1．3 运用递归下降法解析CIF语法 | 第29-34页 |
| §3．1．4 CIF文件中圆和线条的处理 | 第34-37页 |
| §3．2 JEOL51文件的生成 | 第37-44页 |
| §3．2．1 JEOL51格式介绍 | 第37-43页 |
| §3．2．2 JEOL51格式输出 | 第43-44页 |
| §3．3 二维坐标变换 | 第44-46页 |
| 第四章 算法设计2 | 第46-79页 |
| §4．1 基于矢量边的二维多边形集合运算 | 第46-60页 |
| §4．1．1 基本概念 | 第46-48页 |
| §4．1．2 有向环的基本运算规则 | 第48-50页 |
| §4．1．3 重合交点的处理 | 第50-53页 |
| §4．1．4 点与有向环间的位置关系 | 第53-54页 |
| §4．1．5 点与有向多边形间的位置关系 | 第54-55页 |
| §4．1．6 有向多边形的并运算 | 第55-57页 |
| §4．1．7 有向多边形的线切割 | 第57-60页 |
| §4．2 转换功能模块算法 | 第60-76页 |
| §4．2．1 窗口裁剪 | 第60-61页 |
| §4．2．2 尺寸修正 | 第61-62页 |
| §4．2．3 场切割 | 第62-64页 |
| §4．2．4 轮廓化 | 第64-66页 |
| §4．2．5 黑白翻转 | 第66-68页 |
| §4．2．6 自分割 | 第68-69页 |
| §4．2．7 束斑分割 | 第69-71页 |
| §4．2．8 校验 | 第71-76页 |
| §4．3 图形压缩 | 第76-79页 |
| 第五章 结论 | 第79-82页 |
| §5．1 课题的特点 | 第79页 |
| §5．2 课题的进展和突破 | 第79-81页 |
| §5．2．1 进展 | 第79-80页 |
| §5．2．2 突破 | 第80-81页 |
| §5．3 课题的深入研究 | 第81-82页 |
| 附1 系统界面图示 | 第82-84页 |
| 附2 验证结果图示 | 第84-89页 |
| 参考文献 | 第89-91页 |
| 文章发表 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |
