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MOCVD法生长InAs/GaSb Ⅱ型超晶格材料的研究

内容提要第1-7页
第一章 绪论第7-20页
   ·红外探测器第7-8页
   ·红外探测器的发展历史第8-10页
   ·探测器的种类第10-14页
     ·光电导探测器第11-12页
     ·光伏探测器第12-13页
     ·两种探测器比较第13-14页
   ·红外探测器材料第14-18页
     ·HgCdTe第14-15页
     ·超晶格材料第15-18页
   ·本论文主要研究内容第18-20页
第二章 红外探测器的性能参数第20-34页
   ·红外探测器的性能参数第20-24页
   ·噪声机制第24-29页
   ·俄歇复合两种基本形式AM-7 和AM-1第29-32页
     ·AM-7 和AM-1 复合机理第29-31页
     ·截止波长10μm 轻、重能带劈裂值变化趋势第31-32页
   ·截止波长10ΜM 材料结构第32-34页
第三章INAS/GASBⅡ型超晶格材料基本参数及MOCVD 技术第34-43页
   ·INAS 和GASB 晶体结构基本参数第34-38页
     ·晶体结构第34-35页
     ·基本参数第35-38页
   ·INAS/GASB 超晶格的能带结构特点第38-40页
   ·MOCVD 技术第40-43页
第四章INAS/GASB-Ⅱ型超晶格的生长及表面形貌分析第43-67页
   ·XG2-1 型MOCVD 装置第43-47页
     ·系统结构第44-47页
     ·装置的性能与特征第47页
   ·MOCVD 法生长INAS/GASBⅡ型超晶格第47-52页
   ·样品的AFM 分析第52-62页
     ·原子力显微镜(AFM)简介第52-53页
     ·样品的原子力显微镜图第53-62页
   ·X 射线衍射第62-67页
     ·X 射线简介第62-63页
     ·样品的X 射线衍射测量第63-67页
第五章 结论第67-69页
参考文献第69-73页
中文摘要第73-76页
ABSTRACT第76-80页
攻读硕士期间发表论文情况第80-81页
致谢第81页

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