大行程超精密工作台关键技术研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·国内外大行程超精密工作台发展现状 | 第10-15页 |
| ·直线电机式超精密工作台 | 第10-12页 |
| ·摩擦式驱动超精密工作台 | 第12-14页 |
| ·两级进给超精密工作台 | 第14-15页 |
| ·各种工作台特点及存在的问题 | 第15页 |
| ·大行程超精密工作台关键技术 | 第15-17页 |
| ·课题的提出及本文的目的 | 第17-19页 |
| 第二章 超精密工作台的结构材料选择 | 第19-32页 |
| ·常见结构材料介绍 | 第19-21页 |
| ·材料热稳定性分析 | 第21-28页 |
| ·模型建立及边界条件 | 第21-22页 |
| ·静态热分析 | 第22-23页 |
| ·热—结构耦合分析 | 第23-25页 |
| ·变形的温度敏感性 | 第25-27页 |
| ·瞬态热分析 | 第27-28页 |
| ·材料振动特性分析 | 第28-31页 |
| ·建模 | 第28-29页 |
| ·模态分析 | 第29-31页 |
| ·本章结论 | 第31-32页 |
| 第三章 多孔质气体润滑理论的数值分析 | 第32-70页 |
| ·气体润滑技术简介 | 第32-33页 |
| ·气体润滑中典型节流器形式 | 第33-34页 |
| ·气体润滑基本理论 | 第34-37页 |
| ·气体润滑基本方程 | 第34-36页 |
| ·气体润滑稳态特性计算 | 第36-37页 |
| ·气体润滑方程的数值解 | 第37-54页 |
| ·有限元方法简介 | 第38-39页 |
| ·多孔质气体润滑有限元分析 | 第39-45页 |
| ·基于商用有限元前后处理器的有限元分析方法 | 第45-53页 |
| ·有限元程序改进 | 第53-54页 |
| ·多孔质节流器有限元计算结果 | 第54-56页 |
| ·影响气膜承载能力的因素分析 | 第56-68页 |
| ·本章结论 | 第68-70页 |
| 第四章 多孔质气体润滑技术实验研究 | 第70-84页 |
| ·实验方案及设备 | 第70-75页 |
| ·实验方案及内容 | 第70页 |
| ·实验装置设计 | 第70-75页 |
| ·多孔材料的渗透率测试方法 | 第75-77页 |
| ·渗透率测试结果 | 第77-78页 |
| ·气膜承载能力实验 | 第78-80页 |
| ·有限元分析结果与实验结果比较 | 第80-83页 |
| ·本章结论 | 第83-84页 |
| 第五章 空气静压导轨结构设计中的关键问题 | 第84-104页 |
| ·导轨设计的基本要求 | 第84-85页 |
| ·导轨的结构类型、截面形状选择 | 第85-87页 |
| ·动导轨滑套设计 | 第87-95页 |
| ·空气静压导轨精度设计 | 第95-97页 |
| ·动导轨紧固结构设计 | 第97-102页 |
| ·本章结论 | 第102-104页 |
| 第六章 超精密工作台直接驱动技术理论分析 | 第104-122页 |
| ·直接驱动技术简介 | 第104-107页 |
| ·超精密工作台进给系统数学模型的建立 | 第107-115页 |
| ·直线电机伺服单元数学模型 | 第107-108页 |
| ·影响系统伺服性能的扰动因素及其补偿方法 | 第108-112页 |
| ·进给系统数学模型 | 第112页 |
| ·PID 调节器参数的实验整定方法 | 第112-115页 |
| ·控制系统的仿真结果 | 第115-120页 |
| ·单位反馈PID 控制 | 第115-117页 |
| ·带加速度前馈的PID 控制 | 第117-118页 |
| ·位置环速度环双反馈PID 控制 | 第118-119页 |
| ·纯滞后系统Smith 预估控制 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-122页 |
| 第七章 结论与展望 | 第122-125页 |
| ·本文结论 | 第122-123页 |
| ·展望 | 第123-125页 |
| 参考文献 | 第125-131页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第131-132页 |
| 附录 | 第132-134页 |
| 致谢 | 第134页 |
