微流量传感器及其在压电泵闭环控制中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-16页 |
| ·压电泵流量控制系统的研究现状 | 第10-13页 |
| ·微流量传感器的研究现状 | 第13-16页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 MEMS 微流量传感器的设计 | 第18-29页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·传感器设计指标和检测原理 | 第18-20页 |
| ·传感器设计指标 | 第18-19页 |
| ·传感器检测原理 | 第19-20页 |
| ·传感器结构设计与封装 | 第20-28页 |
| ·传感器结构尺寸设计与分析 | 第20-26页 |
| ·传感器制备及封装 | 第26-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 MEMS 微流量传感器信号处理及性能测试 | 第29-39页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·传感器信号校准和标定 | 第29-34页 |
| ·传感器信号校准 | 第29-31页 |
| ·传感器信号标定 | 第31-34页 |
| ·传感器信号显示模块的研制 | 第34-36页 |
| ·显示模块硬件设计 | 第34-35页 |
| ·显示模块软件设计 | 第35-36页 |
| ·传感器性能测试实验 | 第36-38页 |
| ·响应速度测试实验 | 第36-37页 |
| ·检测重复精度测试实验 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 压电泵闭环控制系统的设计 | 第39-54页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·压电泵闭环控制系统组成 | 第39-42页 |
| ·控制目标 | 第39页 |
| ·控制系统组成原理 | 第39-40页 |
| ·系统传递函数的推导 | 第40-42页 |
| ·压电泵流量输出特点 | 第42-44页 |
| ·压电泵工作特性分析 | 第42-44页 |
| ·分配精度影响因素 | 第44页 |
| ·经典PID 控制算法的研究 | 第44-47页 |
| ·PID 控制算法和控制流程 | 第44-46页 |
| ·PID 控制算法的MATLAB 仿真及参数确定 | 第46-47页 |
| ·模糊PID 控制算法的研究 | 第47-53页 |
| ·模糊PID 控制器的基本原理 | 第47-48页 |
| ·模糊PID 控制器的设计方法 | 第48-52页 |
| ·模糊PID 控制算法的MATLAB 仿真 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 压电泵闭环控制系统实验研究 | 第54-75页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·压电泵闭环控制实验系统的建立 | 第54-59页 |
| ·系统整体构成原理 | 第54-55页 |
| ·流量检测模块 | 第55-56页 |
| ·流量传感器与计算机通讯模块 | 第56页 |
| ·压电陶瓷驱动模块 | 第56-57页 |
| ·压电泵模块 | 第57-58页 |
| ·人机交互模块 | 第58-59页 |
| ·压电泵系统实验研究 | 第59-74页 |
| ·压电泵系统开环分配实验特点 | 第59-61页 |
| ·压电泵系统闭环控制分配实验研究 | 第61-69页 |
| ·压电泵系统闭环性能实验分析 | 第69-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 学术论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
