基于正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形的研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第1章 前言	第7-10页
·研究背景和选题依据	第7-8页
·课题来源和研究意义	第8-9页
·本文所做的主要工作	第9-10页
第2章 光栅副的干涉法	第10-25页
·光栅副的干涉原理	第10-16页
·基波与谐波	第10-13页
·衍射光的干涉	第13-16页
·频谱分析原理	第16-25页
·付里叶频谱	第17-18页
·矩形光栅副的调制光场(空间域)	第18-23页
·相移定理	第23-25页
第3章 光栅调制测形原理	第25-32页
·面形信息调制	第25-27页
·变形光栅图像的数学描述	第25-27页
·变形光栅信息解调	第27页
·变形光栅形貌法	第27-32页
·付里叶变换轮廓术	第27-30页
·空间相位检测术	第30-32页
第4章 正弦相位调制的光栅干涉法测量振动物体面形	第32-45页
·常见的位相物体光显示方法	第32-33页
·正弦相位调制的光栅干涉仪的应用	第33-37页
·正弦相位调制的光栅干涉法测量面形	第37-42页
·正弦相位调制的光栅干涉光路	第37-38页
·干涉条纹采集和被测信息提取	第38-42页
·正弦相位调制光栅干涉光学系统的搭建和调整	第42-45页
第5章 干涉图像处理和面形计算	第45-54页
·干涉图像处理和振动物体面形计算	第45-53页
·干涉图像处理和面形计算的MATLAB程序	第53-54页
第6章 结论与展望	第54-55页
附录	第55-61页
参考文献	第61-63页
致谢	第63页