| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·光谱仪器简介 | 第12-20页 |
| ·调制型光谱仪 | 第13-16页 |
| ·常规色散型光谱仪 | 第16-20页 |
| ·微型光谱仪发展概述 | 第20-21页 |
| ·宽波段微型光谱仪应用系统 | 第21-22页 |
| ·本文的立项依据以及具体研究内容 | 第22-23页 |
| ·论文的总体结构 | 第23-24页 |
| ·参考文献 | 第24-28页 |
| 第二章 宽波段微型光谱仪设计及实现 | 第28-60页 |
| ·宽波段微型光谱仪设计概述 | 第28-29页 |
| ·探测器选择以及电路设计 | 第29-32页 |
| ·探测器选择 | 第29-31页 |
| ·电路设计 | 第31-32页 |
| ·光学机械结构设计以及公差分析 | 第32-52页 |
| ·色散元件的选择 | 第32-34页 |
| ·光学结构设计 | 第34-39页 |
| ·公差分析和机械结构设计 | 第39-42页 |
| ·二级光谱滤光片设计及实现 | 第42-45页 |
| ·前置集光系统设计 | 第45-52页 |
| ·软件构架以及实现 | 第52-56页 |
| ·软件设计概述 | 第52-53页 |
| ·USB驱动以及数据接口 | 第53-54页 |
| ·软件功能模块 | 第54-56页 |
| ·二次开发 | 第56页 |
| ·本章结论 | 第56-57页 |
| ·参考文献 | 第57-60页 |
| 第三章 宽波段微型光谱仪的应用研究——薄膜测厚系统 | 第60-108页 |
| ·薄膜测厚概述 | 第60-65页 |
| ·有损测量 | 第60-61页 |
| ·无损测量 | 第61-65页 |
| ·基于微型光谱仪的薄膜测厚仪系统方案设计 | 第65-66页 |
| ·系统算法研究 | 第66-87页 |
| ·全局算法 | 第67-79页 |
| ·局部算法 | 第79-80页 |
| ·灵敏度分离算法(SS) | 第80-87页 |
| ·系统软件设计 | 第87-96页 |
| ·软件的功能模块划分 | 第87-89页 |
| ·软件模块的实现以及详细功能 | 第89-95页 |
| ·软件实测举例 | 第95-96页 |
| ·实际样品测量结果 | 第96-104页 |
| ·标准单层SiO_2测量结果 | 第96-97页 |
| ·低反射率透明基底薄膜测量方法及结果 | 第97-103页 |
| ·面型样品测量结果 | 第103-104页 |
| ·本章结论 | 第104-105页 |
| ·参考文献 | 第105-108页 |
| 第四章 宽波段微型光谱仪的拓展应用——光谱压缩系统 | 第108-136页 |
| ·光谱系统中的编码孔径 | 第108-115页 |
| ·系统特性 | 第109-110页 |
| ·编码孔径初步 | 第110-111页 |
| ·静态多通道编码孔径 | 第111-112页 |
| ·理论模拟 | 第112-114页 |
| ·实际光学系统模拟 | 第114-115页 |
| ·一维光谱压缩系统 | 第115-125页 |
| ·编码孔径压缩系统 | 第116-118页 |
| ·编码解码算法 | 第118-120页 |
| ·模拟结果 | 第120-122页 |
| ·先验知识在一维光谱压缩中的应用 | 第122-125页 |
| ·光谱图像压缩系统 | 第125-132页 |
| ·成像光谱仪 | 第126-127页 |
| ·系统概述 | 第127页 |
| ·原理研究 | 第127-130页 |
| ·模拟结果 | 第130-132页 |
| ·本章结论 | 第132-133页 |
| ·参考文献 | 第133-136页 |
| 第五章 总结与展望 | 第136-140页 |
| 博士期间发表的论文 | 第140页 |