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探针扫描式液相原子力显微镜技术及系统研制

致谢第1-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-11页
目录第11-15页
第一章 绪论第15-25页
   ·扫描探针显微技术的发展现状第15-18页
     ·STM技术及其研究现状第16页
     ·AFM的最新进展第16-17页
     ·新型SPM技术第17-18页
   ·液相原子力显微镜技术概述第18-20页
     ·液相AFM的应用需求第18-19页
     ·液相AFM的成像特点第19-20页
     ·液相AFM的国内外发展现状第20页
   ·本文的研究目的第20-21页
   ·本文的主要研究内容和研究成果第21-25页
第二章 液相原子力显微镜技术及其原理第25-45页
   ·原子力作用机制及AFM的工作原理第25-26页
   ·液相AFM测量过程中的固液界面相互作用第26-32页
     ·空气中的相互作用第27-29页
     ·液体中的相互作用第29-32页
   ·AFM微悬臂偏转量的检测方法第32-35页
     ·传统检测法第32-34页
     ·光束偏转法第34-35页
   ·液相原子力显微镜的扫描方式第35-41页
     ·样品扫描方式第35-36页
     ·探针扫描方式第36-38页
     ·样品扫描探针反馈方式第38-39页
     ·探针扫描式AFM的传统跟踪光路研究第39-41页
   ·AFM在气相与液相环境下的成像比较第41-45页
第三章 探针扫描式液相原子力显微镜的新方法研究第45-55页
   ·新型探针扫描式AFM探头设计第45-46页
   ·液相AFM成像特性第46-47页
   ·探针扫描式AFM的光路跟踪新方法第47-51页
     ·检测光路初始方案第48页
     ·光路跟踪的最终方案第48-50页
     ·基于PSD的光路误差测量法第50-51页
   ·压电陶瓷扫描与反馈控制器第51-53页
     ·三管式扫描与反馈控制器的设计第52-53页
     ·叠层式与管式组合型扫描与反馈控制器第53页
   ·二维步进移动台第53-55页
第四章 探针扫描式液相AFM的系统研制第55-77页
   ·总体设计第55-56页
   ·新型液相原子力显微镜的探头研制第56-66页
     ·探头的总体架构第56-59页
     ·跟踪探测光路及光电检测系统的研制第59-62页
     ·压电陶瓷扫描控制器的制作第62-64页
     ·二维步进移动台的建立第64-66页
   ·液相AFM的控制电路研制第66-70页
     ·前置放大电路第66-67页
     ·压电陶瓷扫描及反馈控制电路第67-69页
     ·二维步进控制模块第69-70页
   ·计算机A/D与D/A接口第70-71页
   ·扫描控制软件的开发第71-77页
     ·软件总体功能第71-72页
     ·扫描控制与AFM图像获取第72-73页
     ·AFM图像处理与显示第73-74页
     ·线轮廓的提取与测量第74-77页
第五章 液相AFM系统的性能测试及优化研究第77-93页
   ·系统的性能分析第77-83页
     ·探测光路的误差测量第77-79页
     ·压电陶瓷扫描器的校正与标定第79-81页
     ·压电陶瓷扫描器的迟滞效应的影响第81-83页
   ·扫描参数对液相AFM测量的影响第83-86页
     ·设定值对扫描结果的影响第84页
     ·扫描速度的影响第84-85页
     ·反馈回路参数的影响第85-86页
   ·测量环境对系统的影响第86-88页
     ·环境噪音对AFM测量的影响第86-87页
     ·溶液环境下系统的漂移与稳定第87-88页
   ·针尖与样品假性接触的判断与解决第88-89页
   ·AFM图像的失真分析与解释第89-93页
第六章 新型液相原子力显微镜的实验技术研究第93-105页
   ·基于三管式压电陶瓷扫描器的高分辨AFM成像第93-97页
     ·空气中的扫描检测第93-95页
     ·液相环境中的扫描成像第95-97页
   ·基于组合型压电陶瓷扫描器的AFM检测第97-98页
     ·标准光栅样品的测量第97页
     ·水溶液中的锗量子点第97-98页
   ·图像拼接实验第98-100页
   ·铝在NaOH中腐蚀过程的AFM在线研究第100-101页
   ·铜基底电化学沉积的AFM观察第101-102页
   ·液相AFM的主要性能指标第102-105页
第七章 总结与展望第105-109页
   ·研究工作总结第105-106页
   ·展望第106-109页
参考文献第109-119页
附录 博士期间发表论文第119-121页
作者简历第121页

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