探针扫描式液相原子力显微镜技术及系统研制
致谢 | 第1-6页 |
摘要 | 第6-8页 |
ABSTRACT | 第8-11页 |
目录 | 第11-15页 |
第一章 绪论 | 第15-25页 |
·扫描探针显微技术的发展现状 | 第15-18页 |
·STM技术及其研究现状 | 第16页 |
·AFM的最新进展 | 第16-17页 |
·新型SPM技术 | 第17-18页 |
·液相原子力显微镜技术概述 | 第18-20页 |
·液相AFM的应用需求 | 第18-19页 |
·液相AFM的成像特点 | 第19-20页 |
·液相AFM的国内外发展现状 | 第20页 |
·本文的研究目的 | 第20-21页 |
·本文的主要研究内容和研究成果 | 第21-25页 |
第二章 液相原子力显微镜技术及其原理 | 第25-45页 |
·原子力作用机制及AFM的工作原理 | 第25-26页 |
·液相AFM测量过程中的固液界面相互作用 | 第26-32页 |
·空气中的相互作用 | 第27-29页 |
·液体中的相互作用 | 第29-32页 |
·AFM微悬臂偏转量的检测方法 | 第32-35页 |
·传统检测法 | 第32-34页 |
·光束偏转法 | 第34-35页 |
·液相原子力显微镜的扫描方式 | 第35-41页 |
·样品扫描方式 | 第35-36页 |
·探针扫描方式 | 第36-38页 |
·样品扫描探针反馈方式 | 第38-39页 |
·探针扫描式AFM的传统跟踪光路研究 | 第39-41页 |
·AFM在气相与液相环境下的成像比较 | 第41-45页 |
第三章 探针扫描式液相原子力显微镜的新方法研究 | 第45-55页 |
·新型探针扫描式AFM探头设计 | 第45-46页 |
·液相AFM成像特性 | 第46-47页 |
·探针扫描式AFM的光路跟踪新方法 | 第47-51页 |
·检测光路初始方案 | 第48页 |
·光路跟踪的最终方案 | 第48-50页 |
·基于PSD的光路误差测量法 | 第50-51页 |
·压电陶瓷扫描与反馈控制器 | 第51-53页 |
·三管式扫描与反馈控制器的设计 | 第52-53页 |
·叠层式与管式组合型扫描与反馈控制器 | 第53页 |
·二维步进移动台 | 第53-55页 |
第四章 探针扫描式液相AFM的系统研制 | 第55-77页 |
·总体设计 | 第55-56页 |
·新型液相原子力显微镜的探头研制 | 第56-66页 |
·探头的总体架构 | 第56-59页 |
·跟踪探测光路及光电检测系统的研制 | 第59-62页 |
·压电陶瓷扫描控制器的制作 | 第62-64页 |
·二维步进移动台的建立 | 第64-66页 |
·液相AFM的控制电路研制 | 第66-70页 |
·前置放大电路 | 第66-67页 |
·压电陶瓷扫描及反馈控制电路 | 第67-69页 |
·二维步进控制模块 | 第69-70页 |
·计算机A/D与D/A接口 | 第70-71页 |
·扫描控制软件的开发 | 第71-77页 |
·软件总体功能 | 第71-72页 |
·扫描控制与AFM图像获取 | 第72-73页 |
·AFM图像处理与显示 | 第73-74页 |
·线轮廓的提取与测量 | 第74-77页 |
第五章 液相AFM系统的性能测试及优化研究 | 第77-93页 |
·系统的性能分析 | 第77-83页 |
·探测光路的误差测量 | 第77-79页 |
·压电陶瓷扫描器的校正与标定 | 第79-81页 |
·压电陶瓷扫描器的迟滞效应的影响 | 第81-83页 |
·扫描参数对液相AFM测量的影响 | 第83-86页 |
·设定值对扫描结果的影响 | 第84页 |
·扫描速度的影响 | 第84-85页 |
·反馈回路参数的影响 | 第85-86页 |
·测量环境对系统的影响 | 第86-88页 |
·环境噪音对AFM测量的影响 | 第86-87页 |
·溶液环境下系统的漂移与稳定 | 第87-88页 |
·针尖与样品假性接触的判断与解决 | 第88-89页 |
·AFM图像的失真分析与解释 | 第89-93页 |
第六章 新型液相原子力显微镜的实验技术研究 | 第93-105页 |
·基于三管式压电陶瓷扫描器的高分辨AFM成像 | 第93-97页 |
·空气中的扫描检测 | 第93-95页 |
·液相环境中的扫描成像 | 第95-97页 |
·基于组合型压电陶瓷扫描器的AFM检测 | 第97-98页 |
·标准光栅样品的测量 | 第97页 |
·水溶液中的锗量子点 | 第97-98页 |
·图像拼接实验 | 第98-100页 |
·铝在NaOH中腐蚀过程的AFM在线研究 | 第100-101页 |
·铜基底电化学沉积的AFM观察 | 第101-102页 |
·液相AFM的主要性能指标 | 第102-105页 |
第七章 总结与展望 | 第105-109页 |
·研究工作总结 | 第105-106页 |
·展望 | 第106-109页 |
参考文献 | 第109-119页 |
附录 博士期间发表论文 | 第119-121页 |
作者简历 | 第121页 |