| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| ·课题的研究背景 | 第12-13页 |
| ·干涉仪的发展及研究意义 | 第13-19页 |
| ·论文的主要研究工作和内容安排 | 第19-22页 |
| 第2章 菲索相移干涉仪及其不确定度来源 | 第22-48页 |
| ·菲索相移干涉仪 | 第22-28页 |
| ·菲索相移干涉仪的设计 | 第28-44页 |
| ·超高精度菲索干涉仪不确定度来源 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第3章 标准具镜组重力变形的影响 | 第48-68页 |
| ·有限元方法简介 | 第48-49页 |
| ·有限元分析软件 MSC.Patran/Nastran | 第49-51页 |
| ·镜面面形的影响因素及评价 | 第51-52页 |
| ·标准具镜组设计 | 第52-55页 |
| ·算法介绍及计算流程 | 第55-57页 |
| ·有限元模型建立及分析 | 第57-61页 |
| ·光学性能分析 | 第61-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第4章 干涉腔回程误差的影响 | 第68-84页 |
| ·回程误差及其影响因素 | 第69-71页 |
| ·回程误差的分析表达式 | 第71-76页 |
| ·干涉腔光学模型及Zemax 仿真 | 第76-79页 |
| ·回程误差对面形测量的影响 | 第79-82页 |
| ·小结 | 第82-84页 |
| 第5章 参考面面形误差的影响 | 第84-96页 |
| ·干涉仪标定方法 | 第84-90页 |
| ·随机旋转小球法 | 第90-93页 |
| ·测量不确定度 | 第93-95页 |
| ·小节 | 第95-96页 |
| 第6章 干涉腔折射率变化的影响 | 第96-114页 |
| ·折射率经验公式 | 第96-99页 |
| ·影响干涉腔折射率的因素 | 第99-104页 |
| ·经验公式的不确定度分析 | 第104-105页 |
| ·干涉腔的标准测量不确定度 | 第105-112页 |
| ·小结 | 第112-114页 |
| 第7章 不确定度合成 | 第114-120页 |
| ·仪器不确定度 | 第114-117页 |
| ·气流扰动不确定度 | 第117页 |
| ·不确定度的合成 | 第117-118页 |
| ·小结 | 第118-120页 |
| 第8章 结 论 | 第120-124页 |
| ·论文的主要工作 | 第120-121页 |
| ·论文的主要创新点 | 第121-122页 |
| ·展望 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-130页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第130-132页 |
| 指导教师及作者简介 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133页 |